[实用新型]基板移送装置以及包含其的基板处理系统与基板处理装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种基板移送装置以及包含其的基板处理系统，更为具体地涉及一种基板移送装置以及包含其的基板处理系统，其可使得基板平坦地悬浮，可均匀地涂敷药液并抑制污点的产生。

背景技术

在对LCD等平板显示器进行制造的工艺中伴随将抗蚀剂液体等的药液涂敷于由玻璃等制作的被处理基板的表面的涂层(coating)工艺。在LCD的尺寸较小的现有技术中使用了旋转(spin)涂层方法，所述旋转涂层方法在将药液涂敷于被处理基板的中央部的同时，使得被处理基板旋转，据此，将药液涂敷于被处理基板的表面。

但是，随着LCD画面的尺寸大型化，旋转涂层方式几乎不被使用，并且正使用如下方式的涂层方法：使得具有与被处理基板的宽度相对应的长度的狭缝(slit)形态的狭缝喷嘴和被处理基板相对移动，同时从狭缝喷嘴将药液涂敷于被处理基板的表面。

最近，作为一种在所规定的时间内将药液涂层于更多数量的被处理基板的表面的方法的部分，在日本公开专利公报第2005-243670号公开一种如下形式的技术：设置有悬浮平台，所述悬浮平台通过沿着基板被搬入并涂敷且搬出的方向喷出空气来使得基板悬浮，在其两侧设置有形成为吸附板等的基板排出装置，通过停止状态的狭缝喷嘴来将药液供给于连续被供给的被处理基板的表面并进行涂层。

但是，在现有的悬浮式基板涂层器(coater)装置中，具有如下问题：以与基板的尺寸无关的形式构成为一定的悬浮力整体地作用于基板，由此，在得到悬浮的基板的特定部位部分地产生偏转，并且具有如下问题：因为由于基板的偏转而导致的高度差(喷嘴与基板之间的距离差异)，所以产生药液无法均匀地得到涂敷的现象，并且通过如上的药液不均匀涂敷从而产生污点。尤其，具有如下问题：在使得一定以上的较大的尺寸的基板悬浮的情况下，在基板的边缘或中央部产生偏转。

此外，在现有的技术中具有如下问题：以与悬浮力作用于基板的区域无关的形式药液被涂敷于基板的表面，据此如果在悬浮力作用于基板的区域中药液被涂敷，则因为由于在悬浮力作用于基板的区域中产生的振动而造成的影响，所以产生药液无法均匀地得到涂敷的现象，由于如上所述的药液的不均匀涂敷，从而产生污点。

换句话说，在悬浮力作用于基板的区域(空气得以喷出的区域)中因悬浮力而产生的振动产生得最大，但是在现有的技术中具有如下问题：在悬浮力作用于基板的区域中实现药液的涂敷，由此药液无法均匀地得到涂敷，从而产生污点。

因此，最近，用于提高基板的悬浮平坦度并提高药液的涂敷均匀性的多种研究正在进行，但是仍存在不足，因此需要对其的开发。

实用新型内容

本实用新型的目的在于，提供一种基板移送装置以及包含其的基板处理系统，所述基板移送装置在没有基板的部分偏转的状态下，可使得基板平坦地悬浮。

尤其，本实用新型的目的在于，可对于在基板的平坦度产生偏差的部位的悬浮力以与其他的部位不同的形式独立地进行控制。

此外，本实用新型的目的在于，提供一种基板处理装置，其在将药液涂敷于基板的过程中，可均匀地涂敷药液，从而抑制污点的产生。

尤其，本实用新型的目的在于，可在受到因作用于基板的悬浮力而产生的振动的影响较小的区域中均匀地涂敷药液。

此外，本实用新型的目的在于，可形成高品质的药液涂覆层，并且可使得收率提高。

根据用于达到所述本实用新型的目的的本实用新型的优选的第一实施例，对药液涂敷工艺得到处理的基板进行移送的基板移送装置包括：基板移送部，其包括独立地被分割的多个悬浮部，并且将基板以悬浮的状态进行移送；控制部，其个别地对通过多个悬浮板而产生的悬浮力进行控制。

这是为了在使得被处理基板悬浮并移送时，个别地对通过多个悬浮部而产生的悬浮力进行控制，从而更稳定地使得基板悬浮。

换句话说，选择性地以相互不同的形式对通过相互协助地使得基板悬浮的多个悬浮部的悬浮力进行控制，换句话说，按照各个部位以相互不同的形式对作用于基板的悬浮力的强度进行调节，据此可得到的有利的效果在于，在没有基板的部分偏转的状态下，使得基板平坦地悬浮。

尤其，在相互协助地使得基板悬浮的多个悬浮部件中对配置于产生基板的偏转的部位(基板的平坦度产生偏差的部位)的至少任意一个悬浮力以比其余的悬浮部的悬浮力相对大的形式进行控制，据此，可得到的有利的效果在于，在没有基板的部分偏转的状态下，使得基板平坦地悬浮。