[实用新型]基板移送装置以及包含其的基板处理系统与基板处理装置

权利要求书

1.一种基板移送装置，所述基板移送装置对处理药液涂敷工艺的基板进行移送，其特征在于，包括：

基板移送部，其包括独立地被分割的多个悬浮部，并且将基板以悬浮的状态进行移送；

控制部，其个别地对通过所述多个悬浮板而产生的悬浮力进行控制。

2.根据权利要求1所述的基板移送装置，其特征在于，

所述基板移送部包括多个振动板和多个振动器，所述多个振动板以独立的形式被分割，所述多个振动器分别以独立的形式使得所述多个振动板振动，

利用通过超声波而产生的振动能量来使得所述基板悬浮。

3.根据权利要求2所述的基板移送装置，其特征在于，

所述控制部选择性地以相互不同的形式对通过所述多个振动板而产生的悬浮力进行控制。

4.根据权利要求3所述的基板移送装置，其特征在于，

所述多个振动板相互协作地使得所述基板悬浮，

所述控制部对所述多个振动板中配置于产生所述基板的偏转的部位的至少任意一个悬浮力以比其余的振动板的悬浮力相对大的形式进行控制。

5.根据权利要求4所述的基板移送装置，其特征在于，

所述控制部对所述多个振动板中配置于所述基板的边缘的至少任意一个悬浮力以比其余的振动板的悬浮力相对大的形式进行控制。

6.根据权利要求2所述的基板移送装置，其特征在于，

所述多个振动板相互形成为相同的形态及尺寸。

7.根据权利要求2所述的基板移送装置，其特征在于，

所述多个振动板中至少一个形成为不同的形态及尺寸。

8.根据权利要求7所述的基板移送装置，其特征在于，

所述多个振动板中配置于所述基板的边缘的至少任意一个形成为比其余的振动板小的尺寸。

9.根据权利要求2所述的基板移送装置，其特征在于，所述基板移送部包括：

装载移送部，其包括独立地被分割的多个第一振动板，并且所述基板装载于所述装载移送部；

处理移送部，其包括以独立地被分割的形式配置的多个第二振动板，并且药液涂敷于所述基板的表面；

卸载移送部，其包括独立地被分割的多个第三振动板，并且涂敷有所述药液的所述基板卸载于所述卸载移送部。

10.根据权利要求9所述的基板移送装置，其特征在于，

所述多个第一振动板和所述多个第三振动板中至少任意一个沿着所述基板的移送路径以一维或二维的形式被隔开地配置。

11.根据权利要求9所述的基板移送装置，其特征在于，

所述多个第二振动板沿着所述基板被移送的方向以间隔一定间距的形式配置。

12.根据权利要求11所述的基板移送装置，其特征在于，

在所述处理移送部中所述药液通过所述第二振动板间的被隔开的间隔区域被涂敷于所述基板的表面。

13.根据权利要求12所述的基板移送装置，其特征在于，

还包括吸入压形成部，所述吸入压形成部将吸入压施加于所述间隔区域，

可通过形成于所述间隔区域的所述吸入压来支撑所述基板。

14.根据权利要求2至13中任意一项所述的基板移送装置，其特征在于，

所述振动板相对于水平面水平地配置，

所述基板以平行于所述振动板的形式悬浮。

15.根据权利要求2至13中任意一项所述的基板移送装置，其特征在于，

所述振动板以沿着所述基板的行进方向的一个侧边为中心以相对于水平面倾斜的形式配置，

所述基板以平行于所述振动板的形式悬浮。

16.根据权利要求15所述的基板移送装置，其特征在于，

包括移送部件，所述移送部件对相对于水平面倾斜地倾转的所述基板的一个侧边进行支撑，并且使得所述基板移送，

所述基板的荷重作用于所述移送部件，并且因为由于所述基板的荷重而产生的摩擦力，所以所述基板通过所述移送部件来得到移送。