[实用新型]硅片少子寿命测试用的气氛控制装置

权利要求书

1.一种硅片少子寿命测试用的气氛控制装置，其特征是，在少子寿命测试平台上设置有上下开口、用于罩住待测硅片的盒体，在所述盒体的上开口处扣盖有透明盖，且所述盒体的上开口处与所述透明盖接触部位设置有上密封圈，所述盒体的下开口处与少子寿命测试平台接触部位设置有下密封圈；在所述盒体的侧壁开有与所述盒体内腔相通的进气口和出气口，通过所述进气口和所述出气口可向所述盒体的内腔中提供硅片少子寿命测试所需的气氛。

2.根据权利要求1所述的硅片少子寿命测试用的气氛控制装置，其特征是，所述透明盖为全光谱通透或选择性光谱通透的透明盖。

3.根据权利要求1所述的硅片少子寿命测试用的气氛控制装置，其特征是，所述上密封圈和所述下密封圈均为橡胶密封圈。

4.根据权利要求1所述的硅片少子寿命测试用的气氛控制装置，其特征是，所述盒体为圆柱形或长方体形结构。

5.根据权利要求1所述的硅片少子寿命测试用的气氛控制装置，其特征是，通过所述进气口和所述出气口向所述盒体的内腔中提供的硅片少子寿命测试所需气氛为氧气气氛、干燥空气气氛、氮气气氛或真空气氛。