[实用新型]一种用于板式PECVD整排手动下料装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种用于板式PECVD手动下料装置，尤其涉及一种用于板式PECVD整排手动下料装置。

背景技术

板式PECVD是光伏太阳能行业中常用的设备。如图1所示，为现有板式PECVD手动单片下料装置结构示意图，现有单片下料装置一般包括一个真空吸盘1，真空吸盘1上连接有真空气管2，真空气管2上连接有真空控制阀3。如图2所示，现有单片下料装置在使用过程中需要单片下料，导致下料操作次数多，下料时间长，使生产过程碎片增加，并影响生产产能。

发明内容

本实用新型要解决的技术问题是：提供了一种减少下料操作次数、缩短下料时间的用于板式PECVD整排手动下料装置，解决了现有单片下料装置在使用过程中需要单片下料，导致下料操作次数多，下料时间长的问题。

为了解决上述技术问题，本实用新型的技术方案是提供了一种用于板式PECVD整排手动下料装置，其特征在于，包括框架型材，框架型材的上下两侧均设有圆形丝杆，每根圆形丝杆上均设有可以左右滑动的固定滑块，两个固定滑块分别固定在整排真空吸片器的两端，框架型材内还设有硅片承载盒。

优选地，所述的整排真空吸片器包括平移架，平移架下设有多个真空吸片器，平移架上设有平移把手，平移把手上设有真空开关。

优选地，所述的真空吸片器的数量与石墨框内每排可放的硅片数量相同。

本实用新型通过平移把手将整排真空吸片器平移到硅片上方，打开真空开关使硅片吸出石墨框，通过平移把手将硅片平移到硅片承载盒上方，关闭真空开关使硅片掉落到硅片承载盒中，整个下片过程整排进行，减少了下料操作次数，缩短了下料时间，降低了生产过程碎片。

附图说明

图1为现有手动单片下料装置的结构示意图；

图2为现有手动单片下料装置的操作示意图；

图3为整排真空吸片器的结构示意图；

图4为图3的俯视图；

图5为一种用于板式PECVD整排手动下料装置的结构示意图。

具体实施方式

为使本实用新型更明显易懂，兹以优选实施例，并配合附图作详细说明如下。

本实用新型为一种用于板式PECVD整排手动下料装置，如图5所示，其包括整排真空吸片器13，整排真空吸片器13的两端分别固定有两个固定滑块12，两个固定滑块12安装在圆形丝杆11上，且可以在圆形丝杆11上左右滑动，圆形丝杆11安装在框架型材10的上下两侧上，框架型材10内还安装有硅片承载盒14。如图3、图4所示，整排真空吸片器13包括平移架6，平移架6下安装有真空吸片器7，平移架6上安装有平移把手9，平移把手9上安装有真空开关8。

其中：真空吸片器7的数量与石墨框4内每排可放的硅片5数量相同。

本实用新型的工作过程如下：

首先把本实用新型的装置放置在带有硅片5的石墨框4上，通过平移把手9将整排真空吸片器13平移到硅片5上方，打开真空开关8，通过真空吸片器7将硅片5吸出石墨框4，通过平移把手9将硅片5平移到硅片承载盒14上方，关闭真空开关8使硅片5掉落到承载盒14中，整个下片过程整排进行，减少了下料操作次数，缩短了下料时间，降低了生产过程碎片。