[实用新型]一种用于板式PECVD整排手动下料装置有效
| 申请号： | 201621352889.0 | 申请日： | 2016-12-09 |
| 公开（公告）号： | CN206340566U | 公开（公告）日： | 2017-07-18 |
| 发明（设计）人： | 王烨明 | 申请（专利权）人： | 百力达太阳能股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18;H01L21/677 |
| 代理公司： | 上海申汇专利代理有限公司31001 | 代理人： | 翁若莹 |
| 地址： | 314500 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 板式 pecvd 手动 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于板式PECVD整排手动下料装置，其特征在于，包括框架型材(10)，框架型材(10)的上下两侧均设有圆形丝杆(11)，每根圆形丝杆(11)上均设有可以左右滑动的固定滑块(12)，两个固定滑块(12)分别固定在整排真空吸片器(13)的两端，框架型材(10)内还设有硅片承载盒(14)。
2.如权利要求1所述的一种用于板式PECVD整排手动下料装置，其特征在于，所述的整排真空吸片器(13)包括平移架(6)，平移架(6)下设有多个真空吸片器(7)，平移架(6)上设有平移把手(9)，平移把手(9)上设有真空开关(8)。
3.如权利要求1所述的一种用于板式PECVD整排手动下料装置，其特征在于，所述的真空吸片器(7)的数量与石墨框(4)内每排可放的硅片(5)数量相同。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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