[实用新型]一种单片清洗的单晶硅片清洗装置有效
| 申请号： | 201621335852.7 | 申请日： | 2016-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN206296236U | 公开（公告）日： | 2017-07-04 |
| 发明（设计）人： | 俞豪威;梁庭卫 | 申请（专利权）人： | 安徽爱森能源有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B11/00 |
| 代理公司： | 六安众信知识产权代理事务所(普通合伙)34123 | 代理人： | 熊伟 |
| 地址： | 237200 *** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 单片 清洗 单晶硅 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种单片清洗的单晶硅片清洗装置，包括水槽、清洗架、挡片、水喷头，其特征在于：所述水槽上方设有清洗架，所述清洗架为长条盒形，其底部开设有若干通孔，在清洗架两内侧壁对应均匀设有若干挡片，所述清洗架顶部滑动连接水喷头；所述水喷头为方形，其顶部连接水管。
2.根据权利要求1所述的一种单片清洗的单晶硅片清洗装置，其特征在于：所述的挡片两两之间的间距大于单晶硅片厚度，小于二倍单晶硅片厚度。
3.根据权利要求1所述的一种单片清洗的单晶硅片清洗装置，其特征在于：所述的清洗架两侧壁间距等于单晶硅片宽度。
4.根据权利要求1所述的一种单片清洗的单晶硅片清洗装置，其特征在于：所述的水喷头卡接在清洗架两侧壁上方。
5.根据权利要求1所述的一种单片清洗的单晶硅片清洗装置，其特征在于：所述的清洗架与水槽可拆卸式连接。
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