[实用新型]一种多晶硅片控温清洗装置有效
| 申请号： | 201621335833.4 | 申请日： | 2016-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN206296255U | 公开（公告）日： | 2017-07-04 |
| 发明（设计）人： | 俞豪威;梁庭卫 | 申请（专利权）人： | 安徽爱森能源有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/08 | 分类号： | B08B3/08;B08B3/10 |
| 代理公司： | 六安众信知识产权代理事务所(普通合伙)34123 | 代理人： | 熊伟 |
| 地址： | 237200 *** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 多晶 硅片 清洗 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种多晶硅片控温清洗装置，包括碱洗槽，其特征在于：还包括加热水箱、水泵、抽水管、加水管，所述碱洗槽侧壁底部相通连接加水管，所述加水管相通连接加热水箱底部，在加热水箱顶部通过水管连接水泵出水端，所述水泵抽水端连接抽水管，所述抽水管另一端设在碱洗槽水面下方。
2.根据权利要求1所述的一种多晶硅片控温清洗装置，其特征在于：所述的抽水管与加水管管径相同。
3.根据权利要求1所述的一种多晶硅片控温清洗装置，其特征在于：所述加热水箱内部设有加热装置。
4.根据权利要求3所述的一种多晶硅片控温清洗装置，其特征在于：所述的加热装置为电加热器。
5.根据权利要求1或3所述的一种多晶硅片控温清洗装置，其特征在于：所述的加热水箱高度高于碱洗槽水面高度。
6.根据权利要求1或3所述的一种多晶硅片控温清洗装置，其特征在于：所述的抽水管底部端口处设有隔离网。
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