[实用新型]一种多源小功率低温等离子体聚合涂层装置

权利要求书

1.一种多源小功率低温等离子体聚合涂层装置，其特征在于：在主真空室(1)壁上安装多个放电腔(2)，在每个放电腔(2)通往主真空室(1)的开口处安装一个平面接地栅网(3)，在每个放电腔(2)内靠近栅网(3)处安装多孔电极板(4)，多孔电极板(4)与栅网(3)平行并保持间隙，多孔电极板(4)通过绝缘支架(10)固定在放电腔(2)壁上，多孔电极板(4)通过导线(11)连接小功率高频电源(5)，多孔电极板(4)上均匀分布通孔，载体气体管路(6)和单体蒸汽管路(7)分别连接到每个放电腔(2)内，载体气体管路(6)和单体蒸汽管路(7)另一端分别连接到载体气体源和单体蒸汽源，真空排气管(8)连接到主真空室(1)内，真空排气管另一端连接到真空泵，待处理的基材(9)放在主真空室(1)内部，且位于放电腔(2)外部。

2.根据权利要求1所述的一种多源小功率低温等离子体聚合涂层装置，其特征在于：所述放电腔(2)为圆筒形，材质为金属，其直径范围是深度为30-150mm。

3.根据权利要求1所述的一种多源小功率低温等离子体聚合涂层装置，其特征在于：所述放电腔(2)相邻轴线之间的间距为70～400mm。

4.根据权利要求1所述的一种多源小功率低温等离子体聚合涂层装置，其特征在于：所述多孔电极板(4)与所述栅网(3)之间的间隙小于8mm。

5.根据权利要求1所述的一种多源小功率低温等离子体聚合涂层装置，其特征在于：所述多孔电极板(4)上分布的通孔直径是1～10mm，孔间距1～10mm。

6.根据权利要求1所述的一种多源小功率低温等离子体聚合涂层装置，其特征在于：所述的小功率高频电源(5)功率为5～100W，频率为20kHz～300MHz。

7.根据权利要求1所述的一种多源小功率低温等离子体聚合涂层装置，其特征在于：所述的真空排气管(8)连接到主真空室(1)上与放电腔(2)相对的内壁上。