[实用新型]一种碳化硅管沉积装置

权利要求书

1.一种碳化硅管沉积装置，其特征在于，包括石英管层、碳化硅层和第一保温层，其中所述石英管层、所述碳化硅层和所述第一保温层均为管状结构，所述第一保温层套设在所述碳化硅层的表面，所述碳化硅层套设在所述石英管层的表面，所述石英管层内部形成沉积区。

2.根据权利要求1所述的碳化硅管沉积装置，其特征在于，所述碳化硅层的内径为2～20cm。

3.根据权利要求1所述的碳化硅管沉积装置，其特征在于，所述碳化硅层的厚度为5～15mm。

4.根据权利要求1所述的碳化硅管沉积装置，其特征在于，所述第一保温层的材料为普通石棉、高铝石棉、含锆石棉、莫来石纤维毯中的一种。

5.根据权利要求1所述的碳化硅管沉积装置，其特征在于，所述第一保温层的厚度为3～8cm。

6.根据权利要求1至5任一项所述的碳化硅管沉积装置，其特征在于，还包括第二保温层，所述第二保温层设置在所述第一保温层的端部，其中所述石英管层延伸至所述第二保温层内，以形成连通所述沉积区的气体通道。

7.根据权利要求6所述的碳化硅管沉积装置，其特征在于，所述第二保温层的材料为普通石棉、高铝石棉、含锆石棉、莫来石纤维毯中的一种。