[实用新型]一种刻蚀机台设备传送隔离阀门装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及半导体集成电路制造领域，且特别涉及一种刻蚀机台设备传送隔离阀门装置。

背景技术

TEL tactras机台主要应用氧化膜刻蚀工艺，该机台传送模块和各个工艺腔体都要求真空状态，每个工艺腔体和传送模块都由一组传送隔离阀门。

按照现有设计，对隔离阀门的保养方法有两种：

1.停止所有腔体作业，排气至大气，结合传送模块做保养，所有腔体需要进行预防保全(不推荐)

2.每个隔离阀门结合腔体预防保全时进行保养(业界通用)

预防保全就是指为了保证设备能正常动作，产品质量稳定，在设备运作前期对设备进行检查，上油，清洗，调整等操作。

其中方法2具有以下缺陷：对隔离阀门进行保养时，整个传送模块需要停机，以TEL vigus机台(六个腔)为例，每月保养隔离阀门三次，每次需要整机：2小时保养+5小时复机+1小时测机＝8小时，影响运行时间0.5％以上。

实用新型内容

本实用新型提出一种刻蚀机台设备传送隔离阀门装置，在刻蚀机台设备里加装一组传送隔离阀门，两组传送隔离阀门分别在腔体和传送模块保养时进行保养，减少整机停机时间，提升运行时间，增加工厂产能。

为了达到上述目的，本实用新型提出一种刻蚀机台设备传送隔离阀门装置，所述刻蚀机台设备包括相互连接的工艺腔体和传送模块，其特征在于，所述工艺腔体靠近连通传送模块侧设置有第一传送隔离阀门，所述传送模块靠近连通工艺腔体侧设置有第二传送隔离阀门。

进一步的，所述工艺腔体的数量为多个，分别连通于所述传送模块。

进一步的，所述工艺腔体的数量为6个。

进一步的，当所述工艺腔体进行预防保全时，对所述第一传送隔离阀门进行保养，并将所述第二传送隔离阀门关闭。

进一步的，所述工艺腔体每次预防保全依次停用一个，完成保养后再停用下一个工艺腔体，轮流完成全部工艺腔体的保养。

进一步的，当所述传送模块进行保养时，同时对所述第二传送隔离阀门进行保养，并将所述第一传送隔离阀门关闭。

本实用新型提出的刻蚀机台设备传送隔离阀门装置，在刻蚀机台设备里加装一组传送隔离阀门后，工艺腔体侧传送隔离阀门可结合工艺腔体预防保全时保养，不影响整机；传送模块侧传送隔离阀门可结合传送模块保养时进行保养。按照目前传送腔体每月预防保全一次+传送模块每三个月保养一次计算，此设计可提升运行时间0.5％以上。

附图说明

图1所示为本实用新型较佳实施例的刻蚀机台设备结构示意图。

图2所示为本实用新型较佳实施例的传送隔离阀门装置结构示意图。

具体实施方式

以下结合附图给出本实用新型的具体实施方式，但本实用新型不限于以下的实施方式。根据下面说明和权利要求书，本实用新型的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比率，仅用于方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。

请参考图1和图2，图1所示为本实用新型较佳实施例的刻蚀机台设备结构示意图，图2所示为本实用新型较佳实施例的传送隔离阀门装置结构示意图。本实用新型提出一种刻蚀机台设备传送隔离阀门装置，所述刻蚀机台设备包括相互连接的工艺腔体100和传送模块200，其特征在于，所述工艺腔体100靠近连通传送模块200侧设置有第一传送隔离阀门300，所述传送模块200靠近连通工艺腔体100侧设置有第二传送隔离阀门400。

根据本实用新型较佳实施例，所述工艺腔体100的数量为多个，分别连通于所述传送模块200。进一步的，所述工艺腔体100的数量为6个。

当所述工艺腔体100进行预防保全时，对所述第一传送隔离阀门300进行保养，并将所述第二传送隔离阀门400关闭，无需将整机停用。所述工艺腔体100每次预防保全依次停用一个，完成保养后再停用下一个工艺腔体100，轮流完成全部工艺腔体100的保养，在当前工艺腔体100进行保养时，其他工艺腔体100和传送模块200都可正常运行。

当所述传送模块200进行保养时，同时对所述第二传送隔离阀门400进行保养，并将所述第一传送隔离阀门300关闭，保证在传送模块200进行保养时，不影响各个工艺腔体100的制程作业。