[实用新型]电镀装置有效

专利信息
申请号: 201621188824.7 申请日: 2016-10-28
公开(公告)号: CN206127464U 公开(公告)日: 2017-04-26
发明(设计)人: 黄云钟;李春明 申请(专利权)人: 北大方正集团有限公司;重庆方正高密电子有限公司
主分类号: C25D17/00 分类号: C25D17/00
代理公司: 北京同立钧成知识产权代理有限公司11205 代理人: 宋扬,刘芳
地址: 100871 北京市海*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 电镀 装置
【权利要求书】:

1.一种电镀装置,其特征在于,包括:长条形的阴极飞靶;多个震动马达;所述多个震动马达中的一个设置在所述阴极飞靶的中间位置;其余所述震动马达均匀分布在所述阴极飞靶上,以向所述阴极飞靶上悬挂的电镀板件传递均匀的震动能量。

2.根据权利要求1所述的电镀装置,其特征在于,还包括:两条平行设置的电镀线导轨;所述阴极飞靶横跨在所述两条平行设置的电镀线导轨上;所述电镀线导轨上设置有阴极飞靶支撑座;所述阴极飞靶两端安装在所述阴极飞靶支撑座上,以使所述阴极飞靶与所述电镀线导轨固定连接。

3.根据权利要求2所述的电镀装置,其特征在于,所述其余均匀分布在阴极飞靶上的震动马达分别设置在所述阴极飞靶的两端。

4.根据权利要求3所述的电镀装置,其特征在于,设置在所述阴极飞靶两端的所述震动马达与所述阴极飞靶固定连接,或者所述震动马达与所述阴极飞靶支撑座固定连接。

5.根据权利要求2所述电镀装置,其特征在于,所述阴极飞靶支撑座的上半部分为V型,所述阴极飞靶的两端为与之相适应的楔形。

6.根据权利要求2所述电镀装置,其特征在于,所述电镀线导轨和阴极飞靶支撑座的接触面设有弹性部件。

7.根据权利要求1任一所述的电镀装置,其特征在于,所述阴极飞靶上等间隔地设有多个震动马达。

8.根据权利要求1-7任一所述电镀装置,其特征在于,所述震动马达的功率为50-200瓦。

9.根据权利要求1-7任一所述电镀装置,其特征在于,所述阴极飞靶的中间位置的所述震动马达在所述阴极飞靶上产生震动幅度大于等于30mm/s的震动波。

10.根据权利要求1-7任一所述电镀装置,其特征在于,所述多个震动马达由同一外接电源供电。

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