[实用新型]一种SiC膜通量恢复系统有效
申请号: | 201621188822.8 | 申请日: | 2016-10-28 |
公开(公告)号: | CN206199026U | 公开(公告)日: | 2017-05-31 |
发明(设计)人: | 黄海波;周宏旺 | 申请(专利权)人: | 上海昱沛环保科技有限公司 |
主分类号: | B01D65/02 | 分类号: | B01D65/02;B01D65/08;C02F1/44 |
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地址: | 200100 上海*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 sic 通量 恢复 系统 | ||
1.一种SiC膜通量恢复系统,其特征在于,所述系统包括微波发生器(1)、波导(2)、SiC膜壳(3)、测温器(4),所述波导(2)一端与微波发生器(1)连接,另一端与SiC膜壳(3)通过孔口焊接连接,测温器(4)安装于SiC膜壳一侧。
2.如权利要求1所述的系统,其特征在于所述微波发生器(1)产生的微波频率为915MHZ,2450MHZ,5800MHZ。
3.如权利要求1所述的系统,其特征在于所述微波发生器(1)含有PLC,对微波发生器(1)实现智能控制;通过加热时间、加热温度及微波输出频率的设定控制微波发生器(1)的工作时间、微波输出功率及频率。
4.如权利要求3所述的系统,其特征在于所述微波发生器(1)加热温度设定范围为200~800℃,加热时间设定范围为10~240min。
5.如权利要求1所述的系统,其特征在于所述SiC膜壳(3)材质为不锈钢。
6.如权利要求1所述的系统,其特征在于所述测温器(4)为红外测温器,测温范围为0~1000℃。
7.如权利要求6所述的系统,其特征在于所述测温器(4)用于探测SiC膜壳(3)内SiC膜温度,并将探测的温度转换为模拟信号传输给微波发生器(1)所含的PLC。
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