[实用新型]一种曝光系统杂散光过滤装置有效
申请号: | 201621178136.2 | 申请日: | 2016-11-03 |
公开(公告)号: | CN206378686U | 公开(公告)日: | 2017-08-04 |
发明(设计)人: | 何忠亮;朱争鸣;叶文 | 申请(专利权)人: | 深圳市柯士达光电有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 518125 广东省深*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 曝光 系统 散光 过滤 装置 | ||
技术领域
本实用新型属于电子技术领域,涉及一种用于曝光机的曝光系统杂散光过滤装置。
背景技术
制造PCB、LCD、触摸屏等产品使用的曝光设备中,曝光系统通常采用多重透镜获得UV平行光源,需要多重校准,成本较高,维护复杂,且仍然会有部分大角度的光线产生,造成曝光解析度的降低。
发明内容
针对现有技术不足,本实用新型公开一种曝光系统杂散光过滤装置,用于提高曝光解析度,其特征在于:在LED光源的光路方向上,有复数层开孔直径略大于LED芯片之间的挡光板,可以过滤掉不需使用的大角度光线,且相邻的开孔不会相互干扰光路。
每块挡光板之间间隔一定的距离,且距离可调,每块挡光板与出光方向垂直,挡光板上的开孔中心与发光芯片光路的中心重合。
挡光板开孔的孔壁,表面为具备良好的紫外光吸光能力的颜色,不会造成光反射而影响出光角度,优选将孔壁涂成黑色。
挡光板的开孔有一定的间隔,确保孔与孔之间的光路不会相互交叉干扰。
该系统用于PCB、LCD、触摸屏等领域曝光设备中,具有成本低廉,解析度高等优势。
附图说明
下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细的说明。
图1是本实用新型杂散光过滤装置(反射式光源)的示意图。
图2是本实用新型杂散光过滤装置(透镜式光源)的示意图。
具体实施方式
一种杂散光过滤装置,如图1所示,在反射式UV LED光源的上方,有复数层开孔直径略大于LED芯片之间的挡光板,每块挡光板之间间隔一定的距离(距离可调),每块挡光板与出光方向垂直,挡光板上的开孔中心位于LED芯片的中心线上,可以过滤掉不需使用的大角度光线。挡光板开孔的孔壁,具备良好的吸光能力,不会造成光反射而影响出光角度。
一种杂散光过滤装置,如图2所示,在透镜会聚式UV LED光源的上方,有复数层开孔直径略大于LED芯片之间的挡光板,每块挡光板之间间隔一定的距离(距离可调),每块挡光板与出光方向垂直,挡光板上的开孔中心位于LED芯片的中心线上,可以过滤掉不需使用的大角度光线。挡光板开孔的孔壁涂成黑色,具备良好的吸光能力,不会造成光反射而影响出光角度。
虽然上述结合附图描述了本实用新型的优选实施例,但本实用新型并不限于上面所示和所描述的实施例,而是可在所附的权利要求的范围内以各种方式实现。
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