[实用新型]一种曝光系统杂散光过滤装置有效
申请号: | 201621178136.2 | 申请日: | 2016-11-03 |
公开(公告)号: | CN206378686U | 公开(公告)日: | 2017-08-04 |
发明(设计)人: | 何忠亮;朱争鸣;叶文 | 申请(专利权)人: | 深圳市柯士达光电有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 518125 广东省深*** | 国省代码: | 广东;44 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 曝光 系统 散光 过滤 装置 | ||
1.一种用于曝光系统光源的杂散光过滤装置,其特征在于:在LED光源的光路方向上,有复数层开孔直径略大于LED芯片之间的挡光板,可以过滤掉不需使用的大角度光线,且相邻的开孔不会相互干扰光路。
2.根据权利要求1所述的一种用于曝光系统光源的杂散光过滤装置,其特征为每块挡光板之间间隔一定的距离,每块挡光板与出光方向垂直,挡光板上的开孔中心与发光芯片光路的中心重合。
3.根据权利要求1所述的一种用于曝光系统光源的杂散光过滤装置,其特征为挡光板开孔的孔壁,表面为具备良好的紫外光吸光能力的颜色,不会造成光反射而影响出光角度。
4.根据权利要求1所述的一种用于曝光系统光源的杂散光过滤装置,其特征为挡光板的开孔有一定的间隔,确保孔与孔之间的光路不会相互交叉干扰。
5.根据权利要求3所述的一种用于曝光系统光源的杂散光过滤装置,其特征为所述挡光板之间间隔距离可调。
6.根据权利要求3所述的一种用于曝光系统光源的杂散光过滤装置,其特征为所述孔壁的表面为黑色。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳市柯士达光电有限公司,未经深圳市柯士达光电有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201621178136.2/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。