[实用新型]一种立式真空炉

权利要求书

1.一种立式真空炉，其特征在于：包括外壳、上炉盖、下炉盖、抽真空机构和水冷机构，所述上炉盖和所述下炉盖均为球面状，所述外壳的上下两端分别与上炉盖和下炉盖法兰连接，所述外壳、上炉盖和下炉盖的轴线方向设置内壳，所述内壳为可拆分式结构，所述内壳的上下两端贯穿上炉盖和下炉盖，所述外壳、内壳、上炉盖和下炉盖均为双层结构，双层结构的中间为水冷通道，所述水冷通道通过水冷管道与所述水冷机构连通；所述内壳为圆筒状，所述内壳两端部的双层结构之间设置环形盲板，所述内壳、上炉盖、下炉盖和外壳的合围空间组成了一个立式真空炉的环形空腔，所述抽真空机构通过真空管道与所述环形空腔相连通；所述外壳和内壳靠近环形空腔的一侧均设置多个壳体支撑机构，所述壳体支撑机构的另一端设置壳体电加热机构，所述壳体电加热机构与所述外壳和内壳之间均设置壳体隔热层，所述上炉盖和下炉盖内侧均设置炉盖隔热层，所述壳体隔热层与炉盖隔热层相接触后围成加热腔体，所述下炉盖内侧设置载物台，所述载物台位于所述加热腔体内。

2.根据权利要求1所述的一种立式真空炉，其特征在于：所述内壳自上而下依次包括上段内壳和下段内壳，所述上段内壳的上端与所述上炉盖固定连接，所述下段内壳的下端与所述下炉盖固定连接，所述上段内壳的下端与所述下段内壳的上端密封连接。

3.根据权利要求2所述的一种立式真空炉，其特征在于：所述上段内壳的高度大于下段内壳的高度，内壳上的壳体电加热机构均设置在所述上段内壳。

4.根据权利要求2所述的一种立式真空炉，其特征在于：所述上段内壳的高度小于下段内壳的高度，内壳上的壳体电加热机构均设置在所述下段内壳。

5.根据权利要求1所述的一种立式真空炉，其特征在于：所述内壳自上而下依次包括上段内壳、中段内壳和下段内壳，所述上段内壳的上端与所述上炉盖固定连接，所述下段内壳的下端与所述下炉盖固定连接，所述上段内壳的下端与所述中段内壳的上端密封连接，所述中段内壳的下端与所述下段内壳的上端之间通过法兰密封并固定。

6.根据权利要求1所述的一种立式真空炉，其特征在于：所述上炉盖内侧设置上炉盖支撑机构，所述上炉盖支撑机构另一端设置上炉盖电加热机构，所述上炉盖的炉盖隔热层位于上炉盖电加热机构与上炉盖之间。

7.根据权利要求1所述的一种立式真空炉，其特征在于：所述下炉盖内侧设置下炉盖支撑机构，所述下炉盖支撑机构上设置下炉盖电加热机构，所述下炉盖电加热机构位于载物台与下炉盖上的炉盖隔热层之间。

8.根据权利要求1所述的一种立式真空炉，其特征在于：所述外壳、内壳、上炉盖和下炉盖靠近环形空腔的一侧均设置温度感应模块，所述温度感应模块连接温度显示模块。

9.根据权利要求1所述的一种立式真空炉，其特征在于：还包括设置在所述立式真空炉下方的升降机构，所述升降机构用于升降所述下炉盖，所述升降机构下端设置用于平移所述下炉盖的平移机构。

10.根据权利要求1所述的一种立式真空炉，其特征在于：所述下炉盖与所述外壳的法兰外侧设置液压或气动夹紧装置。