[实用新型]光罩检测装置

权利要求书

1.一种光罩检测装置，其特征在于，包含：

检测基座，其一面上设有支架；

沿所述检测基座作第一方向位移的移动平台，其设于所述检测基座的一面上，且位于所述检测基座及所述支架之间；

沿所述移动平台作与所述第一方向垂直的第二方向位移的转动平台，其设于所述移动平台之上；

承载平台，其设于所述转动平台的一面上，所述承载平台承载光罩，所述光罩包含基板、框架及防尘膜，所述框架设于所述基板的一面上，所述防尘膜设于所述框架上；

对应所述防尘膜的其中一个检测区域产生测距信号的激光测距模块，其设于所述支架的一侧；

垂直位移模块，其设于所述支架的一侧；

根据所述测距信号控制所述垂直位移模块升降的处理模块，其连结所述激光测距模块及所述垂直位移模块；以及

于所述垂直位移模块升降后，采集由所述激光测距模块所测量的所述检测区域的检测影像的影像采集模块，其连结所述处理模块，且相邻所述激光测距模块并设置于所述垂直位移模块上；

其中，当所述影像采集模块采集其中一个所述检测区域的所述检测影像后，所述移动平台将下一个所述检测区域移至对应所述激光测距模块及所述影像采集模块的位置，以产生下一个所述检测区域的所述测距信号及所述检测影像，所述处理模块根据多个所述测距信号产生防尘膜高度信息，且根据各所述检测影像产生检测信息。

2.如权利要求1所述的光罩检测装置，其特征在于，所述移动平台包含所述转动平台沿着位移的导轨。

3.如权利要求1所述的光罩检测装置，其特征在于，所述检测信息包含微粒位置、微粒尺寸或其组合。