[实用新型]表面处理工艺系统、搬运单元及其载台结构有效

专利信息
申请号: 201621163514.X 申请日: 2016-10-25
公开(公告)号: CN206259325U 公开(公告)日: 2017-06-16
发明(设计)人: 丁万春 申请(专利权)人: 通富微电子股份有限公司
主分类号: H01L21/673 分类号: H01L21/673;H01L21/677;C23C14/56
代理公司: 深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙)44280 代理人: 何青瓦
地址: 226001 江*** 国省代码: 江苏;32
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 表面 处理 工艺 系统 搬运 单元 及其 结构
【权利要求书】:

1.一种用于面板级扇出表面处理工艺过程的载台结构,其特征在于,所述载台结构包括用于承载并固定面板级扇出的载台底座以及盖设于所述载台底座上表面的至少两个遮挡单元;相邻遮挡单元之间活动连接,通过调节所述遮挡单元的位置,进而改变所述遮挡单元对所述载台底座上表面的遮挡位置和遮挡面积,以使所述载台底座上表面非遮挡区域与面板级扇出的面积相适应。

2.根据权利要求1所述的载台结构,其特征在于,每一所述遮挡单元均包括一支撑杆以及与所述支撑杆连接的遮挡板,相邻支撑杆之间活动连接,通过调节所述支撑杆的位置,带动所述遮挡板延展或者收缩,以实现对所述载台底座上表面的遮挡位置和/或遮挡面积的变化。

3.根据权利要求2所述的载台结构,其特征在于,所述遮挡单元的数量为两个,两遮挡单元的支撑杆之间以及支撑杆与载台底座上相邻固定杆之间通过滑动轨道连接。

4.根据权利要求2所述的载台结构,其特征在于,所述遮挡单元的数量为三个,相邻遮挡单元的支撑杆之间以及支撑杆与载台底座上相邻固定杆之间通过滑动轨道连接。

5.根据权利要求2所述的载台结构,其特征在于,所述遮挡单元的数量为四个,相邻遮挡单元的支撑杆之间通过滑动轨道连接。

6.根据权利要求2-5任一项所述的载台结构,其特征在于,所述遮挡板为软质材料制成,在收缩状态时,卷设在所述支撑杆上或者卷设在所述载台底座侧边的转轴上。

7.根据权利要求2-5任一项所述的载台结构,其特征在于,所述载台结构还包括驱动电机,所述驱动电机用于带动所述支撑杆移动。

8.根据权利要求1所述的载台结构,其特征在于,所述载台底座上表面设有多个安装孔,所述安装孔用于通过与固定件配合实现对面板级扇出的固定安装。

9.一种用于面板级扇出表面处理工艺过程中的搬运单元,其特征在于,所述搬运单元包括传输机构以及权利要求1-8任一项所述的载台结构,所述载台结构用于承载并固定面板级扇出,所述传输机构用于在不同工位之间转移所述载台结构。

10.一种用于面板级扇出表面处理的工艺系统,其特征在于,所述工艺系统包括权利要求9所述的搬运单元,所述搬运单元用于对面板级扇出进行承载、固定以及转移。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于通富微电子股份有限公司,未经通富微电子股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201621163514.X/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top