[实用新型]高温电子束加热样品台有效
| 申请号： | 201620662888.X | 申请日： | 2016-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN206204406U | 公开（公告）日： | 2017-05-31 |
| 发明（设计）人： | 吴凯 | 申请（专利权）人： | 常州东传新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30;C23C14/50 |
| 代理公司： | 常州市夏成专利事务所(普通合伙)32233 | 代理人： | 陈冰 |
| 地址： | 213000 江苏省常州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 高温 电子束 加热 样品 | ||
【权利要求书】：
1.一种高温电子束加热样品台，包括样品台主体（1），其特征是，所述样品台主体（1）外围设有至少两层伸缩台圈（2），所述伸缩台圈（2）内壁设有凹槽圈（3），所述伸缩台圈（2）外围设有滑轨（4），滑轨（4）上设有挡圈（5）。
2.根据权利要求1所述的高温电子束加热样品台，其特征是，所述凹槽圈（3）设在伸缩台圈（2）顶端内侧。
3.根据权利要求1所述的高温电子束加热样品台，其特征是，所述凹槽圈（3）和挡圈（5）契合。
4.根据权利要求1所述的高温电子束加热样品台，其特征是，所述伸缩台圈（2）有三层。
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