[实用新型]高温电子束加热样品台

说明书

技术领域

本实用新型涉及真空蒸镀设备技术领域，尤其是一种高温电子束加热样品台。

背景技术

电子束蒸发是真空蒸镀的一种方式，它是在钨丝蒸发的基础上发展起来的，电子束是一种高速的电子流，电子束蒸发是目前真空镀膜技术中一种成熟且主要的镀膜方法，它解决了电阻加热方式中膜料与蒸镀源材料直接接触容易互混的问题。现有用于电子束蒸发加热的样品台结构简单，功能单一，只是起到架起待加工样品的作用，不能随意调节台面范围，也没有配套的防护装置保护待加工样品不从台面掉落，一定程度上影响了样品台工作效率。

实用新型内容

为了克服现有的上述的不足，本实用新型提供了一种高温电子束加热样品台。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：一种高温电子束加热样品台，包括样品台主体，样品台主体外围设有至少两层伸缩台圈，伸缩台圈内壁设有凹槽圈，伸缩台圈外围设有滑轨，滑轨上设有挡圈。

根据本实用新型的另一个实施例，进一步包括凹槽圈设在伸缩台圈顶端内侧。

根据本实用新型的另一个实施例，进一步包括凹槽圈和挡圈契合。

根据本实用新型的另一个实施例，进一步包括伸缩台圈有三层。

本实用新型的有益效果是，结构简单，操作方便，工作稳定可靠，三层伸缩台圈能根据使用需求轻松调节，挡圈能有效防止样品掉落，有效提高设备工作效率。

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。

图1是本实用新型的主视图。

图2是本实用新型的俯视图。

图中1.样品台主体，2.伸缩台圈，3.凹槽圈，4.滑轨，5.挡圈。

具体实施方式

如图1、2所示，一种高温电子束加热样品台，包括样品台主体1，样品台主体1外围设有至少两层伸缩台圈2，伸缩台圈2内壁设有凹槽圈3，伸缩台圈2外围设有滑轨4，滑轨4上设有挡圈5，凹槽圈3设在伸缩台圈2顶端内侧，凹槽圈3和挡圈5契合，伸缩台圈2有三层。

使用时，样品台主体1外围的三层伸缩台圈2均能上下伸缩运动，从而增减样品台的载物面积，挡圈5在伸缩台圈2外围的滑轨4内上下滑动改变位置，当第二层伸缩台圈2上升至和样品台主体1等高，伸缩台圈2外侧的挡圈5沿滑轨4上升，使之高出样品台面，起到很好的挡料作用，以此类推，三层伸缩台圈2能三次增大载物面积。

改进后的高温电子束加热样品台结构简单，操作方便，工作稳定可靠，三层伸缩台圈能根据使用需求轻松调节，挡圈能有效防止样品掉落，有效提高设备工作效率。

以上说明对本实用新型而言只是说明性的，而非限制性的，本领域普通技术人员理解，在不脱离所附权利要求所限定的精神和范围的情况下，可做出许多修改、变化或等效，但都将落入本实用新型的保护范围内。