[实用新型]炉管清洗机密封机构

说明书

技术领域

本实用新型与半导体工艺装置有关；具体涉及一种用于清洗石英炉管的炉管清洗机密封机构。

背景技术

半导体是指一种导电性可受控制，范围可从绝缘体至导体之间的材料。无论从科技或是经济发展的角度来看，半导体的重要性都是非常巨大的。今日大部分的电子产品，如计算机、移动电话或是数字录音机当中的核心单元都和半导体有着极为密切的关连。

半导体行业隶属电子信息产业，属于硬件产业，以半导体为基础而发展起来的一个产业，信息时代的基础。近期，全球半导体龙头企业纷纷表示，将继续加大在中国的投资和合作，与以往不同的是，人力成本和融资成本已经不再是合作最大的看点，更多的涉及龙头企业的最先进技术。在政策扶持、资金和国外技术转移的多重驱动下，国内半导体产业有望通过技术合作和并购实现快速崛起。在现今竞争激烈的半导体行业中，如何延长生产产品治具的寿命和提高工作效率，以降低生产过程中所产生的异常损失，是各家厂商所追求的目标之一。

在各种半导体生产过程中，化学气相沉积设备的颗粒污染问题时关注的重点之一，这是由其的工作原理决定的。化学气相沉积设备通常会用于形成常用的氧化硅、氮化硅等薄膜，沉积时，向反应室内混合并发生反应，最终在晶片表面聚集形成希望形成的固态薄膜和气态产物。在这一薄膜形成的过程中，除了在晶片表面形成的薄膜外，必然也会在反应室的内壁表面积累附着物。因此，在多次沉积后，当内壁上的附着物较厚时，易因其发生脱落，对沉积室和晶片造成玷污，形成晶片上的缺陷，降低产品的成品率。尤其对于以石英炉管为反应室的热壁式化学气相沉积设备，会有更多的颗粒沉积在炉管的内壁上，需要定时清洁的频率更高。因而在半导体制造工厂内，需要为其配置专用的炉管清洗设备。

石英炉管是用二氧化硅制造的特种工业技术玻璃，是一种非常优良的基础材料。石英玻璃具有一系列优良的物理、化学性能。石英炉管由于具有优良的理化性能，因此被广泛的应用于电光源、半导体、光通信、军工、冶金、建材、化学、机械、电力、环保等各个领域。原先清洗石英炉管采用的方式：将炉管浸泡在药剂清洗槽体中用酸浸泡清洗，然后用清水，再晒干或者晾干。工作效率低，清洗时间长，清洗药剂使用寿命短，清洗效果差。

实用新型内容

为了改善上述情况，本实用新型的目的在于提供一种炉管清洗机密封机构，可以有效的降低炉管的清洗时间、延长清洗药剂的使用寿命，并且提高炉管的清洗效率，进而缩短炉管的清洗周期，减少炉管壁厚的损失，延长炉管的寿命。

本实用新型所采用的技术方案：炉管清洗密封机构为了降低炉管的清洗时间，炉管清洗机密封机构通过所述密封转动装置两侧的高度调节按钮来调节固定装置的高度，使两侧炉管活动密封盖和炉管同心；控制所述炉管夹紧气缸，通过炉管两侧的炉管活动密封盖固定炉管，并且使炉管密封；将需清洗的炉管放置在炉管驱动滚轴上面，转动炉管驱动滚轴，使炉管随驱动滚轴一起转动，不需要人工操作转动炉管，提高了炉管的清洗效率并改善炉管的清洗效果，进而缩短炉管的清洗时间，缩短清洗周期。

本实用新型所采用的技术方案：炉管清洗机密封机构有一清洗槽，清洗槽用以放置密封转动机构；清洗槽刻有液位，并注明指定清洗药剂液位，用以控制药剂流量，防止药剂过多腐蚀炉管外壁。

本实用新型所采用的技术方案：为了减少炉管壁厚的损失，将需清洗的炉管放置在炉管驱动滚轴上，转动炉管驱动滚轴后，使炉管随驱动滚轴一起转动，从而均匀的清洗炉管内壁；避免炉管长时间浸泡在清洗药剂中，造成炉管壁厚的损失。

本实用新型所采用的技术方案：为了炉管密封盖能够密封炉管两侧，在密封转动机构处装置陶瓷轴承，用于连接炉管密封盖与密封转动机构，达到密封的效果。

本实用新型所采用的技术方案：所述两侧炉管夹紧气缸控制炉管活动密封盖，炉管夹紧气缸充分夹紧，避免炉管活动密封盖松动，防止清洗药剂泄漏；所述两侧的炉管活动密封盖与清洗药剂接触，选用耐酸碱材质；密封清洗可延长清洗药剂的使用寿命，提高炉管的清洗效果。

本实用新型所采用的技术方案：为了提高炉管的清洗效率和效果，在炉管清洗机构底部装置炉管驱动滚轮，带动放置在炉管驱动滚轴上的炉管一同驱动，炉管可均匀转动。

本实用新型所采用的技术方案：为了延长清洗药剂的使用寿命，炉管清洗机密封机构通过 HF进液阀门，将清洗药剂从进液口进入，清洗炉管内壁，炉管密封使得药剂充分被利用，通过进液口添加药剂，出液口排除回收清洗药剂，使得清洗药剂不断循环使用，从而提高了清洗药剂的使用寿命。