[实用新型]炉管清洗机密封机构有效
申请号: | 201620408014.1 | 申请日: | 2016-04-29 |
公开(公告)号: | CN206519417U | 公开(公告)日: | 2017-09-26 |
发明(设计)人: | 李汉生;王尚森;吕亚明;黄建光;徐新华 | 申请(专利权)人: | 昆山中辰矽晶有限公司 |
主分类号: | B08B13/00 | 分类号: | B08B13/00;B08B9/027 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 215300 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 炉管 清洗 机密 机构 | ||
1.一种炉管清洗机密封机构,用以清洗石英炉管,所述炉管清洗机密封机构包括:
一炉管清洗机构,具有一清洗槽;
一密封转动机构,具有一固定装置、炉管夹紧气缸、陶瓷轴承、高度调节钮、炉管活动密封盖、炉管驱动滚轴以及炉管驱动滚轮;
其特征在于,所述密封转动机构设置于所述炉管清洗机构内,所述密封转动机构一端具有一固定装置,所述固定装置上具有高度调节钮,通过调节两侧高度调节使得两侧密封盖与炉管同心;所述炉管夹紧气缸连接并夹紧炉管活动密封盖;所述炉管活动密封盖密封炉管;所述炉管放置在炉管驱动滚轴上方;所述炉管驱动滚轴连接炉管驱动滚轮。
2.如权利要求1所述的炉管清洗机密封机构,其特征在于,所述炉管清洗机构与密封旋转机构形成清洗槽,清洗槽底部放置炉管驱动滚轮及炉管驱动滚轴;炉管清洗机构具有一清洗槽,放置密封转动机构。
3.如权利要求1所述的炉管清洗机密封机构,其特征在于,所述清洗槽底部具有炉管驱动滚轴,炉管驱动滚轴上具有炉管驱动滚轮,将炉管放置在炉管驱动滚轴上,从而带动炉管转动清洗。
4.如权利要求1所述的炉管清洗机密封机构,其特征在于,所述密封转动机构处装置陶瓷轴承,用于连接炉管密封盖。
5.如权利要求1所述的炉管清洗机密封机构,其特征在于,炉管密封盖用以密封炉管两端,炉管陶瓷轴承连接炉管活动密封盖后一同辅助驱动炉管转动。
6.如权利要求1所述的炉管清洗机密封机构,其特征在于,所述炉管清洗机构底部具有炉管驱动滚轴,炉管驱动滚轴上具有炉管驱动滚轮,用以驱动炉管。
7.如权利要求1所述的炉管清洗机密封机构,其特征在于,所述密封转动机构的炉管活动密封盖一端配有HF进液口和出液口,打开HF进液口阀门,HF液体从进液口进入,清洗药剂清洗炉管内壁,关闭进液阀门后,清洗药剂在密封转动机构不断循环清洗;清洗完毕后,打开HF出液口阀门,HF液体从出液口出,回收清洗药剂。
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