[实用新型]一种全自动双面镀膜机有效
| 申请号： | 201620146495.3 | 申请日： | 2016-02-26 |
| 公开（公告）号： | CN205258585U | 公开（公告）日： | 2016-05-25 |
| 发明（设计）人： | 王翔宇;孙为民 | 申请（专利权）人： | 视悦光学有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/00 | 分类号： | C23C14/00 |
| 代理公司： | 镇江京科专利商标代理有限公司 32107 | 代理人： | 吴丽娜 |
| 地址： | 212300 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 全自动 双面 镀膜 | ||
1.一种全自动双面镀膜机，其特征在于：主要由机械泵(1)、分配阀(2)、 抽气室(3)、电炉(4)、扩散泵(5)、水冷障板(6)、高真空阀(7)、 镀膜室(8)、立柱(9)、加热器(10)、吹气口(11)、载物台(12) 和旋转泵(13)组成；所述立柱(9)平行设置在镀膜室(8)内，所述吹 气口(11)设置在立柱(9)上，所述立柱(9)的上端连接加热器(10)， 所述载物台(12)设置在立柱(9)之间，所述载物台(12)的下端连接 旋转泵(13)，所述镀膜室(8)的下侧连接抽气室(3)，所述电炉(4) 设置在抽气室(3)的下端，所述扩散泵(5)设置在电炉(4)的上侧， 所述水冷障板(6)设置在扩散泵(5)的上端，所述水冷障板(6)的上 端连接高真空阀(7)；所述抽气室(3)的一侧连接分配阀(2)，所述 分配阀(2)的输出端同时连接抽气室(3)和机械泵(1)。
2.根据权利要求1所示的一种全自动双面镀膜机，其特征在于：所述吹气口 (11)关于载物台(12)呈中心对称分布。
3.根据权利要求1所示的一种全自动双面镀膜机，其特征在于：所述吹气口 (11)之间的间距为30～50mm。
4.根据权利要求1所示的一种全自动双面镀膜机，其特征在于：所述高真空 阀(7)的上侧还设置有热规(14)。
5.根据权利要求1所示的一种全自动双面镀膜机，其特征在于：所述抽气室 (3)的另一侧还设置有潘宁规(15)。
6.根据权利要求1所示的一种全自动双面镀膜机，其特征在于：所述机械泵 (1)和分配阀(2)之间还设置有电磁阀(16)。
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