[实用新型]一种新型化学机械抛光装置

权利要求书

1.一种新型化学机械抛光装置，包括抛光头、研磨垫、转轴、传动轮，所述研磨垫紧贴换向轮布置并由所述传动轮传动，所述抛光头位于研磨垫上方，一侧与所述转轴连接，另一侧安装有研磨头，所述转轴上端与第一电动机输出轴连接，所述第一电动机固定在滑块装置上，所述滑块装置与丝杠之间靠螺旋副连接，所述丝杠的一侧终端与第二电动机输出轴连接，所述第二电动机下面安装有喷液臂，所述喷液臂与固定在地面上的底座连接，所述喷液臂的另一侧安装有喷液头，所述丝杠的两端连接有支撑座，所述支撑座与竖直气缸连接。

2.根据权利要求1所述的一种新型化学机械抛光装置，其特征在于：所述传动轮一侧安装有研磨垫张紧装置，所述张紧装置与张紧轮连接，所述张紧轮与研磨垫紧贴在一起。

3.根据权利要求1所述的一种新型化学机械抛光装置，其特征在于：所述研磨垫为连续的带状研磨垫，上表面具有均匀分布的圆形突起。

4.根据权利要求1所述的一种新型化学机械抛光装置，其特征在于：所述喷液臂与喷液头之间安装有节流阀。

5.根据权利要求1所述的一种新型化学机械抛光装置，其特征在于：所述的第二电动机与支撑座连接在一起，并随所述的竖直气缸的升降而上下运动。

6.根据权利要求1所述的一种新型化学机械抛光装置，其特征在于：所述传动轮与换向轮均有两个，两个传动轮与两个换向轮均等高布置。