[实用新型]一种晶粒检测机之跳晶感应模块

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种晶粒检测机，尤其涉及一种晶粒检测机之跳晶感应模块。

背景技术

晶粒（Die）是以半导体材料制作而成未经封装的一小块集成电路本体，通常情况下，集成电路是以大批方式经光刻等多项步骤，制作在大片的半导体晶元上，然后再分割成方型小片，这一方型小片就称为晶粒，每个晶粒就是一个集成电路的复制品。

晶粒检测机是用于检测的晶粒品质优劣的机台，其包括上料模块、扫描检测模块、置换模块以及出料区。在检测之前，晶粒需被放置在托盘内，如图1所示的，托盘内含有多个小格，每个小格内放置一个晶粒。在检测时，将放置有晶粒的托盘推入上料模块，上料模块将托盘移动至扫描检测模块，扫描检测模块对托盘内的晶粒进行扫描，显示器中会显示不良的晶粒和良的晶粒；接着，托盘进入置换区，置换模块将不良的晶粒替换为良的晶粒；最后，装有全部良的晶粒的托盘进入出料区，并堆叠在一起，人员手动将托盘取走。

然而，在自动检测过程中，晶粒可能存在未准确放置在托盘上的小格内的现象（业内俗称跳晶），即晶粒部分体积或全部体积露出小格，当托盘在出料区堆叠时，会出现跳晶压伤的现象，因而现有的检测机台的检测精度较低，工作效率较低，且造成了不必要的资源的浪费。

实用新型内容

为了解决上述技术问题，本实用新型的目的在于提供一种晶粒检测机之跳晶感应模块，可以侦测出跳晶，避免了托盘堆叠而造成的跳晶压伤。

为了实现上述目的，本实用新型的技术方案如下：

一种晶粒检测机之跳晶感应模块，该晶粒检测机包括上料模块、扫描检测模块、置换模块、跳晶感应模块、出料模块以及控制器，该跳晶感应模块设置于所述置换模块和出料模块之间，该跳晶感应模块包括侦测跳晶机构和归零传感器，所述侦测跳晶机构包含两块基座以及位于两基座之间用于容许托盘通过的传送通道，所述基座的外侧固设有一侦测传感器，所述侦测传感器与所述控制器连接，所述基座上开设有一用于容许侦测传感器发射的光线通过的条形槽。

优选的，所述侦测传感器为对照式传感器。

优选的，所述归零传感器设于所述传送通道上方，所述归零传感器用于根据每个托盘的上表面定义相应的一个基准位置，其与所述控制器相连接。

优选的，所述托盘由其上表面向下开设有复数个用于放置晶粒的凹槽，所述凹槽的深度高于晶粒的厚度。

与现有技术相比，本实用新型的优点至少在于：

1）通过侦测传感器可以检测出跳晶的存在，具体的，当晶粒未准确的放置在托盘的凹槽内，即晶粒部分体积或全部体积放置在托盘的上表面，侦测传感器发射的光线被跳晶阻断，机台报警，从而提高了检测机台的检测精度和工作效率，且避免了不必要的资源的浪费；

2）归零传感器对每个托盘进行基准面定义，可以有效降低误判的可能性，提升人员的作业效率，降低报警频率，符合量产需求。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型结构特征和技术要点，下面结合附图和具体实施方式对本实用新型进行详细说明。

图1为本实用新型实施例所公开的托盘的结构示意图；

图2为本实用新型实施例所公开的晶粒检测机的结构示意图；

图3为本实用新型实施例所公开的晶粒检测机之跳晶感应模块的结构示意图；

图4为本实用新型实施例所公开的晶粒检测机之跳晶感应模块的主视图。

附图标记说明：1-上料模块，2-扫描检测模块，3-置换模块，4-跳晶感应模块，41-侦测跳晶机构，411-基座，411a-条形槽，412-传送通道，413-侦测传感器，42-归零传感器，5-出料模块，6-控制器，7-托盘，71-凹槽，8-不良品堆叠区，9-晶粒。

具体实施方式

下面将结合本实施例中的附图，对实施例中的技术方案进行具体、清楚、完整地描述。