[实用新型]一种晶粒检测机之跳晶感应模块有效
申请号: | 201620034841.9 | 申请日: | 2016-01-14 |
公开(公告)号: | CN205280897U | 公开(公告)日: | 2016-06-01 |
发明(设计)人: | 蔡俊杰 | 申请(专利权)人: | 京隆科技(苏州)有限公司 |
主分类号: | G01R31/28 | 分类号: | G01R31/28;H01L21/67 |
代理公司: | 北京华夏博通专利事务所(普通合伙) 11264 | 代理人: | 刘俊 |
地址: | 215000 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 晶粒 检测 感应 模块 | ||
1.一种晶粒检测机之跳晶感应模块,该晶粒检测机包括上料模块、扫描检测模块、置换模块、跳晶感应模块、出料模块以及控制器,其特征在于,该跳晶感应模块设置于所述置换模块和出料模块之间,该跳晶感应模块包括侦测跳晶机构和归零传感器,所述侦测跳晶机构包含两块基座以及位于两基座之间用于容许托盘通过的传送通道,所述基座的外侧固设有一侦测传感器,所述侦测传感器与所述控制器连接,所述基座上开设有一用于容许侦测传感器发射的光线通过的条形槽。
2.根据权利要求1所述的一种晶粒检测机之跳晶感应模块,其特征在于,所述侦测传感器为对照式传感器。
3.根据权利要求1所述的一种晶粒检测机之跳晶感应模块,其特征在于,所述归零传感器设于所述传送通道上方,所述归零传感器用于根据每个托盘的上表面定义相应的一个基准位置,其与所述控制器相连接。
4.根据权利要求1-3中任一项所述的一种晶粒检测机之跳晶感应模块,其特征在于,所述托盘由其上表面向下开设有复数个用于放置晶粒的凹槽,所述凹槽的深度高于晶粒的厚度。
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