[实用新型]用于清洗机台的叠片检测装置有效
| 申请号： | 201620033501.4 | 申请日： | 2016-01-14 |
| 公开（公告）号： | CN205282449U | 公开（公告）日： | 2016-06-01 |
| 发明（设计）人： | 曹四辉 | 申请（专利权）人： | 常州天合光能有限公司;湖北天合光能有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/66 | 分类号： | H01L21/66;H01L31/18 |
| 代理公司： | 浙江永鼎律师事务所 33233 | 代理人： | 郭小丽 |
| 地址： | 213031 江苏省常*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 清洗 机台 检测 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于清洗机台的叠片检测装置，其特征在于：包括设于两槽体之间的硅片流动通道处的感应器（1）、连接感应器（1）的控制器，所述感应器（1）固定于支架上；所述支架两边通过紧固件可拆卸连接于槽体上。
2.根据权利要求1所述的用于清洗机台的叠片检测装置，其特征在于：所述感应器为耐腐蚀的光电感应器。
3.根据权利要求1所述的用于清洗机台的叠片检测装置，其特征在于：所述支架也为耐腐蚀架体，所述紧固件也为耐腐蚀紧固部件。
4.根据权利要求1所述的用于清洗机台的叠片检测装置，其特征在于：所述控制器连接一警报器。
5.根据权利要求1所述的用于清洗机台的叠片检测装置，其特征在于：所述紧固件为螺丝、螺杆或者螺栓。
6.根据权利要求5所述的用于清洗机台的叠片检测装置，其特征在于：所述槽体上与紧固件连接处设有凸块，该凸块上设有供紧固件螺旋插入的螺旋孔。
7.根据权利要求1所述的用于清洗机台的叠片检测装置，其特征在于：所述支架上形成容纳感应器（1）的凹槽，感应器（1）的一端设有可接收信息的凸部，凹槽的底端设有供凸部穿出的开孔，感应器的另一端螺纹连接于凹槽上部，凹槽的顶部连接一防脱盖。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
