[实用新型]一种用于提高超薄制品良品率的镀膜治具有效
| 申请号： | 201620021456.0 | 申请日： | 2016-01-11 |
| 公开（公告）号： | CN205329154U | 公开（公告）日： | 2016-06-22 |
| 发明（设计）人： | 杜争气 | 申请（专利权）人： | 苏州奥科飞光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;H01L51/56 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 提高 超薄 制品 良品率 镀膜 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于提高超薄制品良品率的镀膜治具，其特征在于，包括矩 形框架和与所述矩形框架适配的盖板；所述矩形框架的内沿四个拐角处 均设有半圆形缺口，所述矩形框架内沿周向设有用于承载制品的承载台 面，所述承载台面上设有用于支撑制品的十字型支架；且所述盖板上相 应的设有用于覆盖住所述十字型支架的十字型覆板。
2.根据权利要求1所述的一种用于提高超薄制品良品率的镀膜治 具，其特征在于，所述承载台面内缘设有缺口。
3.根据权利要求2所述的一种用于提高超薄制品良品率的镀膜治 具，其特征在于，所述盖板的尺寸与所述承载台面相同。
4.根据权利要求2所述的一种用于提高超薄制品良品率的镀膜治 具，其特征在于，所述盖板的尺寸与所述矩形框架相同。
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