[发明专利]蓝宝石基板研磨装置在审
| 申请号： | 201611265348.9 | 申请日： | 2016-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN106737130A | 公开（公告）日： | 2017-05-31 |
| 发明（设计）人： | 苗泽明;林岳明;黄朝辉 | 申请（专利权）人： | 苏州爱彼光电材料有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/10 | 分类号： | B24B37/10;B24B37/34;B24B39/06 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司44224 | 代理人： | 唐清凯 |
| 地址： | 215215 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 蓝宝石 研磨 装置 | ||
1.一种蓝宝石基板研磨装置，其特征在于，包括：
机架，具有转轴；
设置于所述机架上的研磨台，并由所述转轴驱动而转动，所述研磨台具有研磨面，所述研磨面用于对位于所述研磨台上的蓝宝石基板研磨；
位于所述研磨面上的陶瓷盘，带动所述蓝宝石基板相对于所述研磨面移动，所述陶瓷盘对蓝宝石基板中心位置施加的压力大于对蓝宝石基板边缘位置施加的压力。
2.根据权利要求1所述的蓝宝石基板研磨装置，其特征在于，所述陶瓷盘包括：
施压面，用于对所述蓝宝石基板的表面施加压力；
设置于所述施压面与所述蓝宝石基板之间的垫片，所述垫片用以接触蓝宝石基板边缘位置。
3.根据权利要求2所述的蓝宝石基板研磨装置，其特征在于，所述垫片的厚度范围为蓝宝石基板厚度的80％。
4.根据权利要求2所述的蓝宝石基板研磨装置，其特征在于，所述垫片的形状圆形结构。
5.根据权利要求4所述的蓝宝石基板研磨装置，其特征在于，所述呈圆形结构的垫片的直径大小为蓝宝石基板的直径的三分之二。
6.根据权利要求2所述的蓝宝石基板研磨装置，其特征在于，所述研磨台具有均匀分布于所述研磨面上的凹槽。
7.根据权利要求1所述的蓝宝石基板研磨装置，其特征在于，所述蓝宝石基板研磨装置还包括：
加压机构，用于对所述蓝宝石基板相对于所述研磨面施加压力。
8.根据权利要求1所述的蓝宝石基板研磨装置，其特征在于，所述研磨台相对所述机架的转速为0-60rpm。
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