[发明专利]干涉仪用自动角度调节机构及其角度控制方法

说明书

一种干涉仪用自动角度调节机构及其角度控制方法，包括夹具平台，夹具平台上设有固定连接在夹具平台上的夹具立板座和转动连接在夹具平台上的夹具立板，夹具立板与夹具平台之间连接有用以驱动夹具立板向偏摆方向转动的弹性件，夹具平台上还连接有用以驱动夹具立板转动的驱动电机、用以采集夹具立板的转动角度的角度传感器、以及将采集到的转动角度与预输入的偏摆角度比较，形成对驱动电机的驱动行程进行反馈调节控制的控制系统，以自动化控制调节取代了现有的人工靠经验调节与校对，提高调节角度的效率，准确性。

技术领域

本发明涉及干涉仪，特别涉及一种干涉仪用自动角度调节机构及其角度控制方法。

背景技术

干涉测量是通过两束相干光之间的相干特性产生的光程差产生的明亮条纹来测量高度数据的一种方法。光通过分光棱镜分为两束光，经过反射参考镜以及样品返回的光之间的光程差形成干涉条纹。

作为测量光纤连接器端面几何参数的设备，测量APC角度一直都是测试中的重点。但是现有的调节方式都是手动调节，角度通过微分头等位移工具将角度调节至APC的测量状态，而该调整方式会导致测量稳定性不足，不够精准，每次调节还需要进行校对，效率较低。

发明内容

本发明的第一目的在于提供一种干涉仪用自动角度调节机构，具有自动调节角度并且所调节角度更加精准、更加高效的优点。

本发明的上述目的是通过以下技术方案得以实现的：

一种干涉仪用自动角度调节机构，包括夹具平台，夹具平台上设有固定连接在夹具平台上的夹具立板座和转动连接在夹具平台上的夹具立板，夹具立板与夹具平台之间连接有用以驱动夹具立板向偏摆方向的反向转动的弹性件，夹具平台上还连接有用以驱动夹具立板转动的驱动电机、用以采集夹具立板的转动角度的角度传感器、以及将采集到的转动角度与预输入的偏摆角度比较，形成对驱动电机的驱动行程进行反馈调节控制的控制系统。

采用上述技术方案，夹具立板与夹具平台转动连接且可向偏摆方向转动，弹性件使夹具立板复位，由角度传感器采集转动角度传输至控制系统，控制系统依据转动角度与偏摆角度的比较判断结果，以反馈调节的方式控制驱动电机的驱动行程以驱动夹具立板转动，取代现有的人为调节的方式，具备自动化调节角度且更加精准、更加高效的优点。

进一步，夹具立板座包括中部具有通孔的竖向板体，竖向板体的底部与夹具平台固定连接，竖向板体的顶部连接有水平连接板，夹具立板转动连接在水平连接板和夹具平台之间。

采用上述技术方案，夹具立板连接在水平连接板和夹具平台之间，连接更加稳固，转动过程更加稳定。

进一步，水平连接板上设有连接板转轴，夹具平台上设有与连接板转轴同轴的平台转轴，夹具立板与连接板转轴和平台转轴连接以实现可转动。

采用上述技术方案，连接板转轴和平台转轴于夹具立板的上、下转动连接，转动过程更加稳定。

进一步，角度传感器在夹具平台的下方与平台转轴连接。

采用上述技术方案，角度传感器设置在夹具平台下方对体积空间的布置更加合理，夹具立板的转动角度由平台转轴传递，由角度传感器采集。

进一步，竖向板体于夹具立板偏摆方向的一侧预留有供夹具立板翻转进入的容腔。

采用上述技术方案，在夹具立板翻转时，夹具立板自然进入容腔内，由此夹具立板和夹具立板座之间无需余留较大的空间，能缩小机构整体体积。

进一步，夹具立板的底部连接有水平拨板，竖向板体的底部具有供水平拨板穿过以及摆动的镂空部。

采用上述技术方案，夹具立板位于夹具立板座的前端，为方便夹具立板的转动驱动，通过设置水平拨板并穿过镂空部，镂空部预留摆动的空间，从而可以从夹具立板座的后端进行驱动。