[发明专利]硅基MEMS碟形陀螺在审
| 申请号： | 201611244538.2 | 申请日： | 2016-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN106629576A | 公开（公告）日： | 2017-05-10 |
| 发明（设计）人： | 王浩;权海洋;张奇荣;叶泽刚;朱红 | 申请（专利权）人： | 北京时代民芯科技有限公司;北京微电子技术研究所 |
| 主分类号： | B81B7/02 | 分类号： | B81B7/02;G01C19/56 |
| 代理公司： | 中国航天科技专利中心11009 | 代理人： | 范晓毅 |
| 地址： | 100076 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 硅基 mems 陀螺 | ||
1.一种硅基MEMS碟形陀螺，其特征在于包括：敏感结构、盖帽层(7)、衬底层(8)、金属层(9)和绝缘层(10)；其中，
所述绝缘层(10)与所述衬底层(8)的上表面相连接；
所述金属层(9)与所述绝缘层(10)相连接；
所述金属层(9)刻蚀有第一金属触点(12)和第二金属触点(13)；
所述敏感结构与第一金属触点(12)、第二金属触点(13)相连接；
所述盖帽层(7)罩于所述敏感结构并与所述金属层(9)相连接。
2.根据权利要求1所述的硅基MEMS碟形陀螺，其特征在于：所述敏感结构包括中心锚点(1)、若干个同心可动圆环(2)、辐条(3)和电极(5)；其中，
若干个同心可动圆环(2)以中心锚点(1)的中心为圆心径向分布；
中心锚点(1)通过辐条(3)与相邻的同心可动圆环(2)相连接；
相邻的两个同心可动圆环(2)通过辐条(3)相连接，相邻的同心可动圆环(2)与辐条(3)之间形成凹槽(4)；
在凹槽(4)内设置有电极(5)；
中心锚点(1)与第一金属触点(12)相连接；
电极(5)与第二金属触点(13)相连接。
3.根据权利要求2所述的硅基MEMS碟形陀螺，其特征在于：连接相邻的两个同心可动圆环(2)的辐条(3)的数量为多个，多个辐条(3)沿同心可动圆环的圆周均匀分布。
4.根据权利要求1所述的硅基MEMS碟形陀螺，其特征在于，还包括：吸气剂层(11)，所述吸气剂层(11)设置于所述盖帽层(7)的内壁。
5.根据权利要求1所述的硅基MEMS碟形陀螺，其特征在于：所述绝缘层(10)的材料为硅。
6.根据权利要求1所述的硅基MEMS碟形陀螺，其特征在于：所述敏感结构采用<1 1 1>晶向的硅片加工而成，厚度为30um～300um。
7.根据权利要求1所述的硅基MEMS碟形陀螺，其特征在于：所述盖帽层(7)的材料为硅。
8.根据权利要求2所述的硅基MEMS碟形陀螺，其特征在于：所述凹槽(4)的深宽比大于10:1。
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