[发明专利]一种银钛合金靶材防开裂轧制工艺

说明书

本发明属于金属轧制技术领域，特别涉及一种银钛合金靶材防开裂轧制工艺，将银和钛进行浇铸铸锭，然后通过一道以上的热轧工序轧制成型；其中第一道热轧时，退火温度为200～800℃，保温时间为1～3小时，轧制方向垂直于熔汤浇铸方向，轧制变形量为10～30％；后道热轧时，退火温度为200～800℃，保温时间为0.5～3小时，轧制方向垂直于熔汤浇铸方向，轧制变形量为10～30％。本发明工艺能使银钛合金靶材热轧的开裂率下降到0％，避免了轧制失败带来的报废支出，节省了轧制成本。

技术领域

本发明涉及金属轧制技术领域，特别涉及一种银钛合金靶材防开裂轧制工艺。

背景技术

靶材，顾名思义，被“攻击”的材料，通常应用于镀膜行业。一般的靶材，对纯度、气体元素、金相等有严格的要求，因此，在制备的过程中，具有一定的工艺技术难题。

对于合金靶，成分和微观组织的均匀性尤其重要。在合金靶的熔炼过程中，某些元素容易挥发或偏析，导致铸锭中合金元素含量成分比例差异或组织分布不均，进而影响其加工成型性能。而银钛合金在钛含量一定的范围内，其塑性变形性能相较纯银及固溶型银合金差，由于钛元素有合金强化作用，增加了材料的抗变形能力，大幅降低了塑性，增加了脆性。导致轧制过程中会出现各种问题，譬如，裂纹产生，轧胚侧边开裂，严重的铸锭长度方向开裂。由于银钛合金轧制易开裂，导致得料率低下，制作成本剧增。

因此，有必要提供一种银钛合金靶材防开裂轧制工艺配方来解决以上问题。

发明内容

本发明的主要目的是为了提供一种银钛合金靶材防开裂轧制工艺。

本发明通过如下技术方案实现上述目的：

一种银钛合金靶材防开裂轧制工艺，将银和钛进行浇铸铸锭，然后通过一道以上的热轧工序轧制成型；其中第一道热轧时，退火温度为200～800℃，保温时间为1～3小时，轧制方向垂直于熔汤浇铸方向，轧制变形量为10～30％；后道热轧时，退火温度为200～800℃，保温时间为0.5～3小时，轧制方向垂直于熔汤浇铸方向，轧制变形量为10～30％。

具体的，所述银钛合金包含0.1～5wt％的钛、0.5wt％以下的杂质金属和余量的银。

具体的，所述第一道热轧中，退火温度为400～600℃，保温时间为2～3小时。

具体的，所述第一道热轧中，轧制变形量为10～25％。

具体的，后道热轧中，退火温度为300～500℃，保温时间为0.5～2小时。

具体的，所述后道热轧中，轧制变形量为20～30％。

与现有技术相比，本发明一种银钛合金靶材防开裂轧制工艺的有益效果在于：

本工艺能使银钛合金靶材热轧的开裂率下降到0％，避免了轧制失败带来的报废支出，节省了轧制成本。

具体实施方式

一种银钛合金靶材防开裂轧制工艺，将银和钛进行浇铸铸锭，然后通过一道以上的热轧工序轧制成型；其中第一道热轧时，退火温度为200～800℃，保温时间为1～3小时，轧制方向垂直于熔汤浇铸方向，轧制变形量为10～30％；后道热轧时，退火温度为200～800℃，保温时间为0.5～3小时，轧制方向垂直于熔汤浇铸方向，轧制变形量为10～30％。

其中轧制变形量＝(轧前厚度-轧后厚度)/轧前厚度。

本发明的防开裂原理为浇铸铸锭组织呈现中间为粗大等轴晶，模具接触面为细小等轴晶，粗大等轴晶与细小等轴晶之间会出现过度的柱状晶组织，且垂直于浇铸方向，钛元素会在银中析出，所以轧制时控制轧制方向和轧制温度及变形量，能有效防止合金出现开裂问题。

以下实施例用于说明本发明，但不用来限制本发明的范围。