[发明专利]一种银钛合金靶材防开裂轧制工艺有效
申请号: | 201611243155.3 | 申请日: | 2016-12-29 |
公开(公告)号: | CN106893989B | 公开(公告)日: | 2019-10-01 |
发明(设计)人: | 张剑;方家芳;马丹萍 | 申请(专利权)人: | 昆山全亚冠环保科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/35 | 分类号: | C23C14/35 |
代理公司: | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人: | 汤东凤 |
地址: | 215300 江苏省苏州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 轧制 银钛合金 靶材 热轧 退火 浇铸方向 轧制方向 轧制工艺 变形量 防开裂 熔汤 保温 垂直 金属轧制 热轧工序 轧制成型 铸锭 浇铸 报废 支出 失败 | ||
1.一种银钛合金靶材防开裂轧制工艺,其特征在于:将银和钛进行浇铸铸锭,然后通过一道以上的热轧工序轧制成型;其中第一道热轧时,退火温度为200~800℃,保温时间为1~3小时,轧制方向垂直于熔汤浇铸方向,轧制变形量为10~30%;后道热轧时,退火温度为200~800℃,保温时间为0.5~3小时,轧制方向垂直于熔汤浇铸方向,轧制变形量为10~30%;所述银钛合金包含0.1~5wt%的钛、0.5wt%以下的杂质金属和余量的银。
2.根据权利要求1所述的银钛合金靶材防开裂轧制工艺,其特征在于:所述第一道热轧中,退火温度为400~600℃,保温时间为2~3小时。
3.根据权利要求1所述的银钛合金靶材防开裂轧制工艺,其特征在于:所述第一道热轧中,轧制变形量为10~25%。
4.根据权利要求1所述的银钛合金靶材防开裂轧制工艺,其特征在于:后道热轧中,退火温度为300~500℃,保温时间为0.5~2小时。
5.根据权利要求1所述的银钛合金靶材防开裂轧制工艺,其特征在于:所述后道热轧中,轧制变形量为20~30%。
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