[发明专利]一种生产旋转锡靶材的模具及其生产方法

权利要求书

1.一种生产旋转锡靶材的模具，其特征是：包括背管（1）和冷却器（16），冷却器（16）设置于背管（1）中；

所述背管（1）外部设有模具外套（2），模具外套（2）底部通过密封环（3）与背管（1）相焊接，模具外套（2）上部通过支撑片（5）与背管（1）相连接；

所述背管（1）上方设有连接环（11），冷却器（16）的下部与连接环（11）相接触，连接环（11）和冷却器（16）通过紧固器（10）紧固，并通过螺栓（15）固定;

所述冷却器（16）一端设有进水管接口（13），上端设有出水管接口（14）；冷却器（16）与背管（1）端面之间放置有黄铜密封垫（17），冷却器（16）底部设有阻挡片（18）。

2.如权利要求1所述生产旋转锡靶材的模具，其特征是：所述背管（1）上端面设有水线（7），上部外周设有定位槽（6），底部设有密封片（4）。

3.如权利要求2所述生产旋转锡靶材的模具，其特征是：所述定位槽（6）内部设有卡簧（12）。

4.如权利要求1所述生产旋转锡靶材的模具，其特征是：所述模具外套（2）内部均匀涂布有氮化硅涂料层。

5.权利要求1所述生产旋转锡靶材的模具的生产方法，其特征是步骤如下：

（1）烤模：以230-250℃对所述模具烤模55-65分钟；

（2）熔炼：将纯度99.9%的锡锭投入感应熔化炉，先用35-50kw的功率熔化，之后在280-330℃区间内精炼20分钟，得到浇铸液；

（3）浇铸：将步骤（2）得到的浇铸液浇铸通过浇铸口（9）注入到背管（1）外的模具型腔（8）中，在330-350℃保温20-60min；

（4）冷却：把冷却器（16）与模具连接，打开进水开关，冷却水以流量2-6立方米/秒的速度通过水管流入冷却器的进水管接口（13），之后流入背管（1）内部，水面逐渐上升从冷却器的出水管接口（14）流出，并从与之相连的金属软管流入水箱；当模具温度降到50℃以下时，冷却结束，脱模，即得产品旋转锡靶材。

6.如权利要求5所述生产旋转锡靶材的模具的生产方法，其特征是步骤如下：所述冷却水温度为5-10℃。