[发明专利]用于矫正干蚀刻机台的扫描传感器的检测治具及方法

说明书

本发明公开了一种用于矫正干蚀刻机台的扫描传感器的检测治具及方法。本发明提供的用于矫正干蚀刻机台的扫描传感器的检测治具包括进出干蚀刻机台的传送腔体的检测载体，以及安装在检测载体上的透明检测板，该透明检测板的材质是亚克力板，该透明检测板的结构尺寸和在检测载体上的安装位置与干蚀刻机台的传送腔体上方的扫描传感器的扫描区域相适配，通过用透明检测板代替传统的玻璃基板，有效避免了玻璃基板的损坏，并缩短矫正时间。本发明提供的矫正干蚀刻机台的扫描传感器的方法通过比对第一信号值A、第二信号值B，以及干蚀刻机台的参考值C，能够有效判别扫描传感器是否需要矫正，并能够简化矫正过程，缩短矫正时间。

技术领域

本发明涉及矫正干蚀刻机台的扫描传感器技术领域，尤其是一种用于矫正干蚀刻机台的扫描传感器的检测治具及方法。

背景技术

目前，干蚀刻机台(Dry Etcher)被广泛地应用于玻璃基板的加工制作过程中，玻璃基板是TFT-LCD(Thin Film Transistor-Liquid Crystal Display，薄膜晶体管液晶显示器)面板的一个重要组成部分。

首先，玻璃基板经过传送腔体并被传送到干蚀刻机台的工艺腔室中，玻璃基板在干蚀刻机台的工艺腔室(Process Chamber)中进行蚀刻加工；玻璃基板在工艺腔室中制程完毕之后，再被运行载体传回至干蚀刻机台的传送腔体中，一般在干蚀刻机台的传送腔体的顶面的两侧各设置一个扫描传感器，当玻璃基板经过扫描传感器的扫描区域时，通过扫描传感器检测制程完毕之后的该玻璃基板是否有破损，比如检测玻璃基板是否存在缺角。扫描传感器有时会出现检测不准的现象，所以需要经常检查扫描传感器的检测结果是否准确，以及进行矫正。

传统的矫正方法是利用玻璃基板对扫描传感器进行调整，这种方法存在以下两个缺点：一是易于造成玻璃基板的损坏，从而造成材料的严重浪费；二是采用玻璃基板进行调整时，手动取放玻璃基板耗时长，影响干蚀刻机台的正常作业时间。

基于上述原因，有必要提供一种用于矫正干蚀刻机台的扫描传感器的检测治具及方法。

发明内容

本发明主要解决的技术问题是提供一种用于矫正干蚀刻机台的扫描传感器的检测治具及方法，该检测治具的透明检测板采用强度较大的亚克力板制作，不会发生破损，且尺寸较小，便于搬运和安装，对干蚀刻机台的矫正不会占用太多干蚀刻机台的工作时间。解决现有技术中采用玻璃基板对干蚀刻机台的扫描传感器进行矫正容易造成玻璃基板的破损以及影响作业时间的问题。

为解决上述技术问题，本发明的一方面是，提供一种用于矫正干蚀刻机台的扫描传感器的治具，该检测治具包括进出干蚀刻机台的传送腔体的检测载体，以及安装在该检测载体上的透明检测板，该透明检测板的材质是亚克力板，且该透明检测板的结构尺寸和在该检测载体上的安装位置与干蚀刻机台的传送腔体上方的扫描传感器的扫描区域相适配。

在本发明用于矫正干蚀刻机台的扫描传感器的检测治具的另一个实施例中，该检测载体是安装在干蚀刻机台的驱动装置上的用于作为承载玻璃基板在干蚀刻机台的传送腔体中移动的运行载体。

在本发明用于矫正干蚀刻机台的扫描传感器的检测治具的另一个实施例中，该运行载体包括均匀分布的多个分支臂，该透明检测板卡接在该运行载体的外侧的分支臂上，该透明检测板的外边缘到该外侧的分支臂的距离与玻璃基板放置在该运行载体的外边缘到该外侧的分支臂的距离相同。

在本发明用于矫正干蚀刻机台的扫描传感器的检测治具的另一个实施例中，该透明检测板的一侧边缘设置用于将该透明检测板卡接在该运行载体上的卡接结构。

在本发明用于矫正干蚀刻机台的扫描传感器的检测治具的另一个实施例中，该卡接结构是与该运行载体的外侧的分支臂相匹配的卡槽，该卡槽由两个间隔垂直于该透明检测板的表面设置的侧板构成，两个该侧板与该透明检测板一体成型设置。