[发明专利]用于矫正干蚀刻机台的扫描传感器的检测治具及方法

权利要求书

1.一种用于矫正干蚀刻机台的扫描传感器的检测治具，其特征在于，所述检测治具包括进出干蚀刻机台的传送腔体的检测载体，以及安装在所述检测载体上的透明检测板，所述透明检测板的材质是亚克力板，所述透明检测板的结构尺寸和在所述检测载体上的安装位置与所述干蚀刻机台的传送腔体上方的扫描传感器的扫描区域相适配，所述检测载体是安装在干蚀刻机台的驱动装置上的用于作为承载玻璃基板在干蚀刻机台的传送腔体中移动的运行载体。

2.根据权利要求1所述的用于矫正干蚀刻机台的扫描传感器的检测治具，其特征在于，所述运行载体包括均匀分布的多个分支臂，所述透明检测板卡接在所述运行载体的外侧的分支臂上，所述透明检测板的外边缘到所述外侧的分支臂的距离与玻璃基板放置在所述运行载体的外边缘到所述外侧的分支臂的距离相同。

3.根据权利要求2所述的用于矫正干蚀刻机台的扫描传感器的检测治具，其特征在于，所述透明检测板的一侧边缘设置用于将所述透明检测板卡接在所述运行载体上的卡接结构。

4.根据权利要求3所述的用于矫正干蚀刻机台的扫描传感器的检测治具，其特征在于，所述卡接结构是与所述运行载体的外侧的分支臂相匹配的卡槽，所述卡槽由垂直于所述透明检测板的表面间隔设置的两个侧板构成，所述侧板与所述透明检测板一体成型。

5.根据权利要求4所述的用于矫正干蚀刻机台的扫描传感器的检测治具，其特征在于，所述检测治具的两个所述侧板的底边设置有倒钩。

6.根据权利要求2至5任一项所述的用于矫正干蚀刻机台的扫描传感器的检测治具，其特征在于，所述透明检测板的长度小于干蚀刻机台所检测的玻璃基板的长度。

7.根据权利要求6所述的用于矫正干蚀刻机台的扫描传感器的检测治具，其特征在于，所述透明检测板的厚度为1mm，宽度范围是100mm～300mm，长度范围是300mm～500mm。

8.一种用于矫正干蚀刻机台的扫描传感器的方法，其特征在于，所述方法利用权利要求7所述的检测治具对干蚀刻机台的扫描传感器进行矫正，具体包括以下步骤：

将所述透明检测板卡接在所述干蚀刻机台的所述运行载体上，操作干蚀刻机台的驱动装置带动所述运行载体移动，使所述透明检测板通过所述干蚀刻机台的扫描传感器的扫描区域；

在所述透明检测板通过干蚀刻机台的扫描传感器的扫描区域之前，干蚀刻机台的扫描传感器产生第一信号值A，并且通过干蚀刻机台的控制器记录所述第一信号值A；在所述透明检测板通过干蚀刻机台的扫描传感器的扫描区域时，干蚀刻机台的扫描传感器产生第二信号值B，并且通过干蚀刻机台的控制器记录所述第二信号值B；

将所述第一信号值A以及所述第二信号值B与干蚀刻机台的控制器设定的参考值C进行比对，如果A>C>B，则所述扫描传感器正常，否则，若A小于等于C，和/或C小于等于B，则所述扫描传感器异常。

9.根据权利要求8所述的用于矫正干蚀刻机台的扫描传感器的方法，其特征在于，若所述扫描传感器异常，则至少采取以下措施中的一种对干蚀刻机台的扫描传感器进行矫正：

检查所述干蚀刻机台的传送腔体顶面的透明板、干蚀刻机台的传送腔体内部的反光板，以及干蚀刻机台的传送腔体上方的发光源的表面是否有脏污，如果有脏污，则清理干净；

更换干蚀刻机台的扫描传感器；

调整所述发光源与所述反光板之间的角度；

对所述参考值C进行重新设定。