[发明专利]四丙基溴化胺无水剥离液在审
| 申请号： | 201611227553.6 | 申请日： | 2016-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN106773563A | 公开（公告）日： | 2017-05-31 |
| 发明（设计）人： | 王建荣 | 申请（专利权）人： | 昆山欣谷微电子材料有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 丙基 溴化胺 无水 剥离 | ||
【权利要求书】：
1.四丙基溴化胺无水剥离液，主要由四丙基溴化胺、没食子酸丙酯、氧化银、有机溶剂组成，其中，各组份之间的重量比例为四丙基溴化胺：没食子酸丙酯：氧化银：有机溶剂=3～7：3：1：17。
2.根据权利要求1所述四丙基溴化胺无水剥离液，其特征在于所述有机溶剂为两种有机溶剂混合组成。
3.根据权利要求1所述四丙基溴化胺无水剥离液，其特征在于所述有机溶剂为二甲基亚砜与二乙二醇丁醚混合而成。
4.根据权利要求1所述四丙基溴化胺无水剥离液，其特征在于所述四丙基溴化胺无水剥离液的使用温度为40℃～60℃。
5.四丙基溴化胺无水剥离液的制备方法，主要包括以下步骤：1、制备四丙基溴化胺、氧化银混合溶液；2、在步骤1制备的混合溶液中添加没食子酸丙酯制备半成品溶液；3、将步骤2中的半成品溶液与其它有机溶剂混合，通风搅拌30分钟；4、将步骤3中的混合溶液经过0.2μm过滤。
6.根据权利要求6所述四丙基溴化胺无水剥离液的制备方法，其特征在于所述步骤1、步骤2、步骤3均在非金属单一材质的混合槽中进行。
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