[发明专利]搬送装置、搬送方法、曝光装置、以及元件制造方法

权利要求书

1.一种搬送装置，其具备：

第1保持装置，可使第1物体悬浮并保持；

第2保持装置，在既定方向设在与所述第1保持装置不同的位置，可使与所述第1物体不同的第2物体悬浮并保持；

支承部，配置于所述第1保持装置的上方，使所述第1保持装置所保持的第1物体从所述第1保持装置分离；以及

移送部，以所述第2保持装置所保持的所述第2物体被保持于所述第1保持装置的方式，在由所述支承部支承的所述第1物体与所述第1保持装置之间使所述第2物体往所述既定方向移动，

所述移送部，使通过所述第1保持装置及所述第2保持装置中的至少一个保持装置而悬浮的所述第2物体移动。

2.如权利要求1所述的搬送装置，其中，所述移送部，沿着通过所述第1保持装置与所述第2保持装置而形成的既定面使所述第2物体移动。

3.如权利要求1所述的搬送装置，其中，所述移送部，把持所述第2保持装置上的所述第2物体的端部，使所述第2物体往所述第1保持装置移动。

4.如权利要求3所述的搬送装置，其中，所述移送部设于所述第2保持装置外。

5.如权利要求1至4项中任一项所述的搬送装置，其中，所述支承部，在上下方向以支承所述第1物体的方式移动接近所述第1保持装置，在支承所述第1物体后即以从所述第1保持装置离开的方式移动。

6.如权利要求1至4项中任一项所述的搬送装置，其中，所述支承部支承由所述第1保持装置保持的所述第1物体的与第1面不同的第2面。

7.如权利要求6所述的搬送装置，其中，所述支承部，以非接触方式支承所述第2面。

8.如权利要求7所述的搬送装置，其中，所述支承部具有支承面与保持部，所述支承面以非接触方式支承所述第2面，所述保持部接触保持所述第2面被以非接触方式支承于所述支承面的所述第1物体的所述第1面。

9.如权利要求1至4项中任一项所述的搬送装置，其中，所述第2保持装置是在所述既定方向以接近所述第1保持装置的方式移动。

10.一种曝光装置，其具备：

权利要求1至9项中任一项所述的搬送装置；以及

对所述第1保持装置所保持的所述第1物体或所述第2物体进行既定处理的处理装置。

11.如权利要求10所述的曝光装置，其中，所述处理装置，是使用能量束对所述第1物体或所述第2物体曝光既定图案的装置。

12.如权利要求11所述的曝光装置，其中，所述第1物体及所述第2物体是一边的长度为500mm以上的基板。

13.如权利要求12所述的曝光装置，其中，所述第1物体及所述第2物体是用于平面面板显示器装置的基板。

14.一种平面面板显示器的制造方法，其包含：

使用权利要求13所述的曝光装置使所述基板曝光的动作；以及

使所述基板显影的动作。

15.一种元件制造方法，其包含：

使用权利要求10至12中任一项所述的曝光装置使所述第1物体或所述第2物体曝光的动作；以及

使所述第1物体或所述第2物体显影的动作。