[发明专利]感光性树脂组合物、感光性树脂层压体、树脂图案和固化膜图案制造方法、以及显示装置有效
申请号: | 201611208215.8 | 申请日: | 2016-12-23 |
公开(公告)号: | CN106918995B | 公开(公告)日: | 2020-06-02 |
发明(设计)人: | 吉田真由纪;渋井智史;下田浩一朗 | 申请(专利权)人: | 旭化成株式会社 |
主分类号: | G03F7/027 | 分类号: | G03F7/027;G03F7/031;G03F7/004;G03F7/00;G03F7/09 |
代理公司: | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人: | 刘新宇;李茂家 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 感光性 树脂 组合 层压 图案 固化 制造 方法 以及 显示装置 | ||
1.一种导体部的保护膜形成用感光性树脂组合物,其包含下述成分:
(A)碱溶性树脂;
(B)具有烯属不饱和双键的化合物;
(C)光聚合引发剂;以及
(D)防锈剂,但不包括仅由1-羟基苯并三唑组成的情况,
并且,作为(C)成分,包含在乙醇溶液中的波长365nm的吸光系数为17mL/(mg·cm)~60mL/(mg·cm)的肟化合物,
所述导体部的保护膜形成用感光性树脂组合物包含下述化合物作为所述(D)成分,所述化合物具有由碳(C)原子与氮(N)原子和/或硫(S)原子构成的杂环,并且,在同一杂环中,N原子数为3以下、或者S原子数为3以下、或者N原子与S原子的总数为3以下,
所述导体部的保护膜形成用感光性树脂组合物中的、所述(C)成分的含量为0.05~5质量%,并且,所述导体部的保护膜形成用感光性树脂组合物中的、所述(D)成分的含量为0.05~10质量%。
2.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物,其中,所述导体部的保护膜形成用感光性树脂组合物包含选自由苯并三唑、苯并三唑衍生物、咪唑和咪唑衍生物组成的组中的至少1种化合物作为(D)成分。
3.根据权利要求2所述的感光性树脂组合物,其中,所述导体部的保护膜形成用感光性树脂组合物包含苯并三唑或苯并三唑衍生物作为(D)成分。
4.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物,其中,所述导体部的保护膜形成用感光性树脂组合物包含选自由三唑、三唑衍生物、四唑、四唑衍生物、噻二唑、噻二唑衍生物、吲唑和吲唑衍生物组成的组中的至少1种化合物作为(D)成分。
5.根据权利要求4所述的感光性树脂组合物,其中,所述导体部的保护膜形成用感光性树脂组合物包含三唑或三唑衍生物作为(D)成分。
6.根据权利要求4所述的感光性树脂组合物,其中,所述导体部的保护膜形成用感光性树脂组合物包含四唑或四唑衍生物作为(D)成分。
7.根据权利要求4所述的感光性树脂组合物,其中,所述导体部的保护膜形成用感光性树脂组合物包含噻二唑或噻二唑衍生物作为(D)成分。
8.根据权利要求4所述的感光性树脂组合物,其中,所述导体部的保护膜形成用感光性树脂组合物包含吲唑或吲唑衍生物作为(D)成分。
9.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物,其中,所述导体部的保护膜形成用感光性树脂组合物包含下述式(4)所示的化合物作为(C)成分,
式(4)
式(4)中,X4和X5各自独立地表示一价有机基团,至少一者包含下述式(5)所示的结构,且Y4表示H或1价有机基团,
式(5)
10.根据权利要求9所述的感光性树脂组合物,其中,所述导体部的保护膜形成用感光性树脂组合物包含下述式(6)所示的化合物作为(C)成分,
式(6)
式(6)中,Y5为H、-CH3、碳数2以上的脂肪族烃基、或者碳数3以上的任选被杂原子或/和卤素原子取代的脂环式烃基;n用0或1的整数来表示;Y5为H或-CH3时,n=0;Y5为碳数2以上的脂肪族烃基或碳数3以上的任选具有杂原子或/和卤素原子的脂环式烃基时,n=1;且Y6表示H或1价有机基团。
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