[发明专利]用于管控线上缺陷的方法和系统

说明书

本发明提供一种用于管控线上缺陷的方法和系统，该方法包括：根据不同的工艺要求，通过分析历史数据来定义线上机台等级，以用于在实施线上制程时从可用机台中选择最高等级机台来执行；在采用所选择的机台实施线上制程时，监控所选择的机台的运行情况和在所选择的机台上的产品的实际生产情况；基于所述监控的结果更新用于所述分析以定义线上机台等级的历史数据，并更新或维持所述所选择的机台的等级。本发明所提供的用于管控线上缺陷的方法和系统根据不同工艺要求定义机台等级，优先选择高等级的机台用于生产，同时对机台和产品生产情况实时监控，可及早检测性能变化并及时做出改善应对措施，能够有效提高产品质量并最大化地利用机台产能。

技术领域

本发明涉及半导体技术领域，具体而言涉及一种用于管控线上缺陷的方法和系统。

背景技术

在生产中，质量控制是非常关键的。目前，对于半导体公司，每年都有很多低良率案例的发生，有的甚至达到报废标准。而究其根本原因需要详细检查线上每一步的跑货记录，这将耗费大量的时间和精力，必然也会造成更多对产品的影响。通过对历史数据的分析，发现90％以上的低良率案例都和线上缺陷相关。因此，对线上缺陷的管控尤为重要。

目前只有在发生案例以后才会发现线上的异常。为了查清根本原因需要花费大量的时间。在此之前需要手动将怀疑的机台限制约束起来，这样不仅耗费时间，而且影响产能。此外，目前对于缺陷的管控，所有的产品都是采用统一的标准，并没有考虑线上机台的固有差异，也没有考虑不同工艺的差异。因此，需要对线上缺陷实施更为有效的管控。

发明内容

针对现有技术的不足，一方面，本发明提供一种用于管控线上缺陷的方法，所述方法包括：根据不同的工艺要求，通过分析历史数据来定义线上机台等级，以用于在实施线上制程时从可用机台中选择最高等级机台来执行；在采用所选择的机台实施线上制程时，监控所述所选择的机台的运行情况和在所述所选择的机台上的产品的实际生产情况；以及基于所述监控的结果更新用于所述分析以定义线上机台等级的历史数据，并更新或维持所述所选择的机台的等级。

在本发明的一个实施例中，所述工艺要求通过定义关键层、致命缺陷规格、关键制程机台这三项中的至少一项来定义。

在本发明的一个实施例中，所述历史数据包括以下中的至少一项：致命缺陷数据、工艺能力数据、课程学习数据、失效模式与影响分析数据以及通用规则数据。

在本发明的一个实施例中，当同时为多个产品的生产选择机台且对于所述多个产品的最高等级机台为同一机台时，基于所述多个产品各自的预定缺陷规格和/或对于所述多个产品各自来说可用的机台数目来确定所述多个产品选择最高等级机台的优先级。

在本发明的一个实施例中，所述监控所述所选择的机台的运行情况和在所述所选择的机台上的产品的实际生产情况的步骤进一步包括：基于所述所选择的机台已处理过的产品的缺陷数据计算当前在所述所选择的机台上生产的产品的缺陷基准；以及将当前在所述所选择的机台上生产的产品的实际缺陷情况与所述缺陷基准相比较，并确定所述实际缺陷情况是否在所述缺陷基准以内，以用于确定是维持还是更新所述所选择的机台的等级。

在本发明的一个实施例中，当确定所述实际缺陷情况在所述缺陷基准以内时，维持所述所选择的机台的等级；当确定所述实际缺陷情况不在所述缺陷基准以内时，将所述所选择的机台的等级进行降级。

在本发明的一个实施例中，所述方法还包括：在将机台的等级降级以后，分析机台降级原因并基于所述原因对机台进行改善。

在本发明的一个实施例中，所述方法还包括：当确定所述实际缺陷情况不在所述缺陷基准以内时，对当前在所述所选择的机台上生产的产品打上标记以用于后续处理，并对后续在所述所选择的机台上生产的产品进行自动采样监控。

在本发明的一个实施例中，在基于所述所选择的机台已处理过的产品的缺陷数据计算当前在所述所选择的机台上生产的产品的缺陷基准时去除离群值，以排除异常值对结果的影响。