[发明专利]一种高效石英球面整流罩数控加工方法

权利要求书

1.一种高效石英球面整流罩数控加工方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤一：下料

用内圆切割机对石英材料切割下料，得到石英球面整流罩毛坯；

步骤二：开球

对石英球面整流罩毛坯铣磨开球；

步骤三：精密铣磨、超精密铣磨和光磨

对石英球面整流罩的凹面和凸面分别进行精密铣磨、超精密铣磨和光磨；

步骤四：抛光

对铣磨加工后的石英球面整流罩抛光。

2.如权利要求1所述的高效石英球面整流罩数控加工方法，其特征在于，所述步骤一中，石英球面整流罩毛坯外圆留0.5～3mm余量；中心厚留0.5～2mm余量。

3.如权利要求2所述的高效石英球面整流罩数控加工方法，其特征在于，所述步骤二中，采用粒度为D60～D90、浓度为C50～C70的金刚石砂轮或散粒磨料进行开球。

4.如权利要求3所述的高效石英球面整流罩数控加工方法，其特征在于，所述步骤三中，采用粒度为D60～D90、浓度为C50～C70的金刚石砂轮或散粒磨料对石英球面整流罩进行精密铣磨，铣磨去除量不小于0.1～0.5mm，横向进给次数为2～3次；

精密铣磨后，采用粒度为D30～D50、浓度为C30～C50的金刚石砂轮对石英球面整流罩超精密铣磨，铣磨去除量不小于0.02～0.05mm，横向进给次数为1～2次；

超精密铣磨后，采用粒度为D15～D30、浓度为C25～C30的金刚石砂轮，对石英球面整流罩表面进行光磨，光磨次数为1～3次。

5.如权利要求1-4中任一项所述的高效石英球面整流罩数控加工方法，其特征在于，所述步骤四中，抛光工艺中，单面去除量为0.01～0.02mm，抛光5～10min。

6.如权利要求5所述的高效石英球面整流罩数控加工方法，其特征在于，所述步骤三中，采用数控铣磨机进行精密铣磨、超精密铣磨和光磨；所述步骤四中，采用数控抛光机进行抛光。