[发明专利]微环境装置

权利要求书

1.一种微环境装置，其特征在于，

具有：

晶圆搬运机，搬运晶圆；

被搬运到处理室的所述晶圆进行通过的晶圆搬运室，设置有所述晶圆搬运机；

循环流路，所述晶圆搬运室内的气体在所述晶圆搬运室迂回并流动；

送风单元，形成在所述晶圆搬运室下降，在所述循环流路上升的循环气流；

整流部件，设置于所述晶圆搬运室的顶板部，将所述循环气流层流化而流入所述晶圆搬运室；

颗粒除去过滤器，设置于所述晶圆搬运室的所述顶板部或所述循环流路；以及

化学过滤器，与所述颗粒除去过滤器分开地装卸自如地设置于所述循环流路，

所述化学过滤器被设置为比所述晶圆搬运室中所述晶圆能够通过的最低的位置低的高度，

在所述循环流路，以从上下方向夹持所述化学过滤器的方式设置有能够遮断所述循环流路的所述循环气流的两个风门，在两个所述风门之间的所述循环流路形成有用于将所述化学过滤器从所述循环流路取出的过滤器取出用窗，

所述颗粒除去过滤器在所述循环流路中被设置于所述化学过滤器的上方。

2.一种微环境装置，其特征在于，

具有：

晶圆搬运机，搬运晶圆；

被搬运到处理室的所述晶圆进行通过的晶圆搬运室，设置有所述晶圆搬运机；

循环流路，所述晶圆搬运室内的气体在所述晶圆搬运室迂回并流动；

送风单元，形成在所述晶圆搬运室下降，在所述循环流路上升的循环气流；

整流部件，设置于所述晶圆搬运室的顶板部，将所述循环气流层流化而流入所述晶圆搬运室；

颗粒除去过滤器，设置于所述晶圆搬运室的所述顶板部或所述循环流路；以及

化学过滤器，设置于所述循环流路，

所述化学过滤器被设置为自所述循环流路的最低位置向上方150cm以下的高度，

在所述循环流路，以从上下方向夹持所述化学过滤器的方式设置有能够遮断所述循环流路的所述循环气流的两个风门，在两个所述风门之间的所述循环流路形成有用于将所述化学过滤器从所述循环流路取出的过滤器取出用窗，

所述颗粒除去过滤器在所述循环流路中被设置于所述化学过滤器的上方。

3.根据权利要求1或2所述的微环境装置，其特征在于，

所述颗粒除去过滤器被设置于所述循环流路。

4.根据权利要求3所述的微环境装置，其特征在于，

所述颗粒除去过滤器被设置为比所述晶圆搬运室中所述晶圆能够通过的最低的位置低的高度。

5.根据权利要求1或2所述的微环境装置，其特征在于，

所述颗粒除去过滤器被设置于所述晶圆搬运室的所述顶板部，兼作所述整流部件。

6.根据权利要求1或2所述的微环境装置，其特征在于，

具有：清洁化气体导入嘴，设置于比所述化学过滤器高的位置，向所述循环流路或所述晶圆搬运室导入清洁化气体。