[发明专利]一种膜厚测量系统

权利要求书

1.一种膜厚测量系统，其特征在于，包括：

测量头，适于测量待测工件上测量点的膜厚，以得到与所述膜厚关联的测量信号；

机械臂，所述测量头固定于所述机械臂上；

机器人控制部件，与所述测量头和机械臂耦接，适于对所述测量信号进行数据采集，并根据数据采集结果控制所述机械臂的运动；

上位机，与所述机器人控制部件耦接；

其中，所述机械臂和机器人控制部件集成于同一机器人中；

所述机器人控制部件除用于控制所述机械臂的运动外，还用于作为控制主站，控制膜厚测量系统的膜厚测量过程，并且所述机器人控制部件将所述数据采集结果传输至所述上位机后，无需等待上位机将与所述膜厚关联的信息反馈回来，直接控制所述机械臂运动。

2.根据权利要求1所述的膜厚测量系统，其特征在于，所述机器人控制部件包括：

数采单元，适于对所述测量信号进行数据采集，以得到所述数据采集结果；

主站控制器，与所述数采单元耦接，适于根据所述数采单元的数据采集结果控制所述机械臂的运动。

3.根据权利要求2所述的膜厚测量系统，其特征在于，所述上位机与所述主站控制器和数采单元电连接，适于根据所述数据采集结果得到所述膜厚，并显示所述膜厚和/或膜厚测量结果，所述膜厚测量结果用于表示所述膜厚与预设的膜厚标准值的比对结果。

4.根据权利要求3所述的膜厚测量系统，其特征在于，当所述膜厚与膜厚标准值的差值超出预设的阈值范围时，所述膜厚测量结果指示测量失败，所述上位机进行报警。

5.根据权利要求4所述的膜厚测量系统，其特征在于，当所述膜厚测量结果指示测量失败时，所述上位机发送测量失败指令至所述主站控制器，使得所述主站控制器控制所述机械臂停止运动。

6.根据权利要求3所述的膜厚测量系统，其特征在于，对于所述待测工件上的不同测量点对应的膜厚标准值彼此独立配置。

7.根据权利要求6所述的膜厚测量系统，其特征在于，不同测量点对应的膜厚标准值是通过所述上位机配置的。

8.根据权利要求3所述的膜厚测量系统，其特征在于，所述上位机还适于对所述膜厚和/或膜厚测量结果进行存储和数据分析，以生成交互式数据报表。

9.根据权利要求3所述的膜厚测量系统，其特征在于，所述待测工件上的测量点的位置和/或数量是通过所述上位机预先配置的。

10.根据权利要求3所述的膜厚测量系统，其特征在于，所述上位机还适于接收用户对测量模式的配置，所述测量模式至少包括：生产模式和生产监测模式。

11.根据权利要求1至10任一项所述的膜厚测量系统，其特征在于，所述测量头为激光测量头。

12.根据权利要求11所述的膜厚测量系统，其特征在于，还包括：电子控制单元，适于控制所述激光测量头产生激光脉冲，所述激光脉冲发射至所述待测工件。

13.根据权利要求11所述的膜厚测量系统，其特征在于，所述激光测量头采用的工作介质为固体激光材料。