[发明专利]一种空心阴极光源在审
| 申请号： | 201611091612.1 | 申请日： | 2016-12-01 |
| 公开（公告）号： | CN107036976A | 公开（公告）日： | 2017-08-11 |
| 发明（设计）人： | 徐荣网 | 申请（专利权）人： | 昆山书豪仪器科技有限公司;徐荣网 |
| 主分类号： | G01N21/25 | 分类号： | G01N21/25;H01J61/52;H01J61/09 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司11250 | 代理人： | 李敏 |
| 地址： | 215343 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 空心 阴极 光源 | ||
1.一种空心阴极光源，其特征在于，包括：
主体，具有第一电极棒、第二电极棒及设于所述第一电极棒与所述第二电极棒之间的试样载体；
真空系统，用于抽取所述主体内部的气体；
载气系统，用于在所述真空系统抽气后充入载气；
冷却水系统，用于对激发过程进行冷却。
2.根据权利要求1所述的空心阴极光源，其特征在于：所述载气为氩气。
3.根据权利要求1或2所述的空心阴极光源，其特征在于：所述第一电极棒设于所述主体的一端，所述第二电极棒设于另一端，所述试样载体设于所述第二电极棒的末端。
4.根据权利要求3所述的空心阴极光源，其特征在于：所述载气系统包括设于所述主体上的载气进口及载气出口，所述载气进口设于所述第一电极棒的侧端，所述载气出口设于所述第二电极棒的侧端。
5.根据权利要求4所述的空心阴极光源，其特征在于：所述试样载体为半埋孔石墨电极，所述试样放置于所述石墨电极的内部。
6.根据权利要求5所述的空心阴极光源，其特征在于：还包括供电系统，用于在所述第一电极棒及第二电极棒之间提供直流加脉冲电压。
7.根据权利要求1-6任一项所述的空心阴极光源，其特征在于：所述冷却水系统包括冷却水进口及冷却水出口，所述冷却水进口设于所述空心阴极光源上靠近所述第一电极棒的一侧，所述冷却水出口设于所述空心阴极光源上靠近所述第二电极棒的一侧。
8.根据权利要求1-6任一项所述的空心阴极光源，其特征在于：还包括自动平衡系统，用于使真空与载气处于动态平衡状态。
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