[发明专利]一种快速热退火导致的玻璃板表面微凹的改善方法

说明书

一种快速热退火导致的玻璃板表面微凹的改善方法，包括以下步骤：一、将玻璃板放在陶瓷承载盘上，玻璃板连同陶瓷承载盘传送至设置有多个长方形开孔的冷却板的正上方；二、控制上下动作机构，将冷却板上移，使冷却板与陶瓷承载盘接触第一退火时间使得玻璃板降至第一退火温度；三、控制上下动作机构，将冷却板下移，使冷却板与陶瓷承载盘分离；四、移动陶瓷承载盘位置，使陶瓷承载盘相对于原位置移动第一距离；五、控制上下动作机构，将冷却板上移，使冷却板与陶瓷承载板接触第二退火时间使得玻璃板降至第二退火温度减小快速降温过程中玻璃板的温度差，避免了因玻璃板的温差过大导致的微凹。

技术领域

本发明本发明属于液晶显示技术领域，具体涉及一种使玻璃板快速热退火导致的表面微凹的改善方法。

背景技术

在直线型快速热退火(Inline Rapid Thermal Annealing)设备中玻璃板(Glass)放在承载盘上传送，承载盘载着玻璃板从高温腔室(Chamber)出来后温度为400～500℃，此时需快速冷却腔室对承载盘快速降温到100～150℃，否则后面机构部件因高温而受损。当承载盘载着玻璃板到达快速冷却单元，上下作动机构使冷却板向上动作贴合到承载盘。冷却板中布满冷却水(PCW)管路，可使承载盘温度迅速下降，经过一定时间冷却板下降，承载盘与滚动轮(Roller)接触后移动到后面单元，同时下一片承载盘载着玻璃板进入到快速冷却单元。

但因为滚动轮的存在，冷却板表面有开孔。冷却板贴合到承载盘做快速降温时，受表面开孔影响，承载盘温度下降不一致，开孔处承载盘温度下降慢，其它地方温度下降快，承载盘上玻璃板会受到同样的影响。开孔处外围玻璃板温度下降快收缩快，开孔处玻璃板温度下降慢收缩慢，导致开孔处外围玻璃板挤压开孔处玻璃板，造成玻璃板背面受损。待到玻璃板做薄化处理后，会发现对应到开孔处点位的微凹。

发明内容

本发明的目的在于克服上述冷却造成的开孔处点位微凹的缺陷，设计出一种两次降温的方法，改善快速热退火导致的表面微凹的情况。

本发明的目的及解决其技术问题是采用以下技术方案实现的：

一种快速热退火导致的玻璃板表面微凹的改善方法，包括以下步骤：

一、将玻璃板放在陶瓷承载盘上，将玻璃板连同陶瓷承载盘传送至冷却板的正上方；

二、控制上下动作机构，将冷却板上移，使冷却板与陶瓷承载盘接触第一退火时间使得玻璃板降至第一退火温度；

三、控制上下动作机构，将冷却板下移，使冷却板与陶瓷承载盘分离；

四、移动陶瓷承载盘位置，使陶瓷承载盘相对于原位置移动第一距离；

五、控制上下动作机构，将冷却板上移，使冷却板与陶瓷承载板接触第二退火时间使得玻璃板降至第二退火温度。

步骤二中，冷却板与陶瓷承载盘接触的第一退火时间为40秒，第一退火温度为250℃～350℃。

步骤三中，冷却板与陶瓷板分离时间为5秒。

步骤五中，冷却板与陶瓷板接触的第二退火时间为55秒，第二退火温度为100℃～150℃。

步骤一中，所述冷却板上设置有多个呈两条平行的直线排布的长方形开孔，长方形开孔之间的间距至少为长方形开孔长度的两倍。

步骤四中，陶瓷承载盘移动的第一距离为长方形开孔长度的1.5倍。

冷却板连同陶瓷承载盘通过滚动轮传送移动，所述长方形开孔用于使滚动轮通过。

所述冷却板内设置有冷却水管，所述冷却水管为流动的冷却水。

还包括步骤六：控制上下动作机构，将冷却板下移，使陶瓷承载盘与冷却板分离，移动陶瓷承载盘，将陶瓷承载盘移动出冷却板。