[发明专利]一种快速热退火导致的玻璃板表面微凹的改善方法有效

专利信息
申请号: 201611086982.6 申请日: 2016-12-01
公开(公告)号: CN106587582B 公开(公告)日: 2019-01-22
发明(设计)人: 李世雄 申请(专利权)人: 武汉华星光电技术有限公司
主分类号: C03B25/08 分类号: C03B25/08
代理公司: 广州三环专利商标代理有限公司 44202 代理人: 郝传鑫;熊永强
地址: 430070 湖北省武汉市*** 国省代码: 湖北;42
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摘要:
搜索关键词: 一种 快速 退火 导致 玻璃板 表面 改善 方法
【权利要求书】:

1.一种快速热退火导致的玻璃板表面微凹的改善方法,其特征在于:包括以下步骤:

一、将玻璃板放在陶瓷承载盘上,将玻璃板连同陶瓷承载盘传送至冷却板的正上方;

二、控制上下动作机构,将冷却板上移,使冷却板与陶瓷承载盘接触第一退火时间使得玻璃板降至第一退火温度;

三、控制上下动作机构,将冷却板下移,使冷却板与陶瓷承载盘分离;

四、移动陶瓷承载盘位置,使陶瓷承载盘相对于原位置移动第一距离;

五、控制上下动作机构,将冷却板上移,使冷却板与陶瓷承载板接触第二退火时间使得玻璃板降至第二退火温度。

2.根据权利要求1所述的一种快速热退火导致的玻璃板表面微凹的改善方法,其特征在于:步骤二中,冷却板与陶瓷承载盘接触的第一退火时间为40秒,第一退火温度为250℃~350℃。

3.根据权利要求1所述的一种快速热退火导致的玻璃板表面微凹的改善方法,其特征在于:步骤三中,冷却板与陶瓷板分离时间为5秒。

4.根据权利要求1所述的一种快速热退火导致的玻璃板表面微凹的改善方法,其特征在于:步骤五中,冷却板与陶瓷板接触的第二退火时间为55秒,第二退火温度为100℃~150℃。

5.根据权利要求1所述的一种快速热退火导致的玻璃板表面微凹的改善方法,其特征在于:步骤一中,所述冷却板上设置有多个呈两条平行的直线排布的长方形开孔,长方形开孔之间的间距至少为长方形开孔长度的两倍。

6.根据权利要求5所述的一种快速热退火导致的玻璃板表面微凹的改善方法,其特征在于:步骤四中,陶瓷承载盘移动的第一距离为长方形开孔长度的1.5倍。

7.根据权利要求5所述的一种快速热退火导致的玻璃板表面微凹的改善方法,其特征在于:冷却板连同陶瓷承载盘通过滚动轮传送移动,所述长方形开孔用于使滚动轮通过。

8.根据权利要求1所述的一种快速热退火导致的玻璃板表面微凹的改善方法,其特征在于:所述冷却板内设置有冷却水管,所述冷却水管为流动的冷却水。

9.根据权利要求1所述的一种快速热退火导致的玻璃板表面微凹的改善方法,其特征在于:还包括步骤六:控制上下动作机构,将冷却板下移,使陶瓷承载盘与冷却板分离,移动陶瓷承载盘,将陶瓷承载盘移动出冷却板。

10.根据权利要求7所述的一种快速热退火导致的玻璃板表面微凹的改善方法,其特征在于:所述滚动轮通过滚动轮固定架与腔室底部连接。

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