[发明专利]基板清洁干燥装置及其节能方法

说明书

本发明提供一种基板清洁干燥装置及其节能方法，该基板清洁干燥装置的进料口处设有传感器，该传感器在进料口处有基板进入和无基板进入时能够感应到不同的感应信号，通过将该不同的感应信号提供给中央处理器，中央处理器即可判定是否有基板进入进料口，并在有基板进入进料口时通过变频器控制增压泵以正常转速运转，在没有基板进入进料口时通过变频器控制增压泵以低于正常转速的转速运转，从而在不影响基板清洁干燥装置正常工作的前提下，使基板清洁干燥装置空闲时增压泵的转速降低，降低基板清洁干燥装置的能耗，延长基板清洁干燥装置的使用寿命，减小维护频率，降低生产成本，提升生产效率。

技术领域

本发明涉及显示器制造技术领域，尤其涉及一种基板清洁干燥装置及其节能方法。

背景技术

平面显示器件具有机身薄、省电、无辐射等众多优点，得到了广泛的应用。现有的平面显示器件主要包括液晶显示器件(Liquid Crystal Display，LCD)及有机发光二极管显示器件(Organic Light Emitting Display，OLED)。

以液晶显示器为例，其通常由彩膜基板(Color Filter，CF)、薄膜晶体管基板(Thin Film Transistor，TFT)、夹于彩膜基板与薄膜晶体管基板之间的液晶(LiquidCrystal，LC)及密封胶框(Sealant)组成，其成型工艺一般包括：前段阵列(Array)制程(薄膜、黄光、蚀刻及剥膜)、中段成盒(Cell)制程(TFT基板与CF基板贴合)及后段模组组装制程(驱动IC与印刷电路板压合)。其中，前段Array制程主要是形成TFT基板，以便于控制液晶分子的运动；中段Cell制程主要是在TFT基板与CF基板之间添加液晶；后段模组组装制程主要是驱动IC压合与印刷电路板的整合，进而驱动液晶分子转动，显示图像。

在液晶显示器等平面显示器件在制作过程中，经常需要对基板进行清洁干燥，去除基板上杂质，保证制程的质量，目前的基板清洁干燥装置的工作过程通常为：首先由上料机构(LUL System)从基板载台(Cst)上获取基板，并将基板传送到基板清洁干燥装置的工作腔室内，由与所述工作腔室相连的增压泵(Booster Pump)将工作腔室抽真空，并将抽得的空气过滤后再供应给出气头，出气头将气体吹到工作腔室内的基板上，吹去基板上的杂质，以完成对基板的清洁干燥，现有技术中，基板清洁干燥装置的自动控制系统(DDC PLCSystem)只能控制增压泵的打开和关闭，而不能调节增压泵的转速，这就带来一个问题，即基板清洁干燥装置开始工作后，无论工作腔室内是否有基板，增压泵都会维持100％的输出，导致增压泵的能耗大，使用寿命短，维护频率高，增加了生产成本，降低了生产效率。

发明内容

本发明的目的在于提供一种基板清洁干燥装置，能够降低基板清洁干燥装置的能耗，延长基板清洁干燥装置的使用寿命，减小维护频率，降低生产成本，提升生产效率。

本发明的目的还在于提供一种基板清洁干燥装置的节能方法，能够降低基板清洁干燥装置的能耗，延长基板清洁干燥装置的使用寿命，减小维护频率，降低生产成本，提升生产效率。

为实现上述目的，本发明提供了一种基板清洁干燥装置，包括：上料机构、与所述上料机构相连的工作腔室、与所述工作腔室相连的增压泵、与所述增压泵相连的变频器、与所述变频器相连的中央处理器；

所述上料机构包括数个进料口，每一个进料口处均对应设有一与所述中央处理器相连的传感器，所述传感器提供感应信号给中央处理器，所述中央处理器根据传感器提供的感应信号判定是否有基板进入进料口，并在有基板进入时通过变频器控制增压泵以正常转速运转，在没有基板进入时通过变频器控制增压泵以低于正常转速的转速运转。

还包括：对应所述上料机构设置的基板载台，所述上料机构从所述基板载台上获取基板。

所述中央处理器为可编程逻辑控制器。

所述传感器为光感传感器。