[发明专利]基板清洁干燥装置及其节能方法

权利要求书

1.一种基板清洁干燥装置，包括：上料机构(1)、与所述上料机构(1)相连的工作腔室(2)，其特征在于，包括：与所述工作腔室(2)相连的增压泵(3)、与所述增压泵(3)相连的变频器(4)、与所述变频器(4)相连的中央处理器(5)；

所述上料机构(1)包括数个进料口(11)，每一个进料口(11)处均对应设有一与所述中央处理器(5)相连的传感器(12)，所述传感器(12)提供感应信号给中央处理器(5)，所述中央处理器(5)根据传感器(12)提供的感应信号判定是否有基板进入进料口(11)，并在有基板进入时通过变频器(4)控制增压泵(3)以正常转速运转，在没有基板进入时通过变频器(4)控制增压泵(3)以低于正常转速的转速运转。

2.如权利要求1所述的基板清洁干燥装置，其特征在于，还包括：对应所述上料机构(1)设置的基板载台(6)，所述上料机构(1)从所述基板载台(6)上获取基板。

3.如权利要求1所述的基板清洁干燥装置，其特征在于，所述中央处理器(5)为可编程逻辑控制器。

4.如权利要求1所述的基板清洁干燥装置，其特征在于，所述传感器(12)为光感传感器。

5.如权利要求4所述的基板清洁干燥装置，其特征在于，当所述光感传感器感测到的光线强度低于或等于预设的光线强度阈值时，中央处理器(5)判定所述进料口(11)有基板进入；

当所述光感传感器感测到的光线强度高于预设的光线强度阈值时，中央处理器(5)判定所述进料口(11)没有基板进入。

6.一种基板清洁干燥装置的节能方法，其特征在于，包括如下步骤；

步骤S1、提供一基板清洁干燥装置，包括：上料机构(1)、与所述上料机构(1)相连的工作腔室(2)、与所述工作腔室(2)相连的增压泵(3)、与所述增压泵(3)相连的变频器(4)、与所述变频器(4)相连的中央处理器(5)；

所述上料机构(1)包括数个进料口(11)，每一个进料口(11)处均对应设有一与所述中央处理器(5)相连的传感器(12)；

步骤S2、所述传感器(12)获取所述进料口(11)处的感应信号，并提供给中央处理器(5)；

步骤S3、所述中央处理器(5)根据传感器(12)提供的感应信号判定是否有基板进入进料口(11)，当有基板进入进料口(11)时通过变频器(4)控制增压泵(3)以正常转速运转，在没有基板进入进料口(11)时通过变频器(4)控制增压泵(3)以低于正常转速的转速运转。

7.如权利要求6所述的基板清洁干燥装置的节能方法，其特征在于，所述步骤S1中基板清洁干燥装置还包括：对应所述上料机构(1)设置的基板载台(6)，所述上料机构(1)从所述基板载台(6)上获取基板。

8.如权利要求6所述的基板清洁干燥装置的节能方法，其特征在于，所述中央处理器(5)为可编程逻辑控制器。

9.如权利要求6所述的基板清洁干燥装置的节能方法，其特征在于，所述传感器(12)为光感传感器。

10.如权利要求9所述的基板清洁干燥装置的节能方法，其特征在于，所述步骤S3中，当所述光感传感器感测到的光线强度低于或等于预设的光线强度阈值时，中央处理器(5)判定所述进料口(11)有基板进入；

当所述光感传感器感测到的光线强度高于预设的光线强度阈值时，中央处理器(5)判定所述进料口(11)没有基板进入。