[发明专利]基板清洁干燥装置及其维护方法

说明书

本发明提供一种基板清洁干燥装置及其维护方法，其通过将基板清洁干燥装置中两个基板清洁干燥单元的进气通路和出气通路分别通过两个三通阀连接到一起，使得当其中一个基板清洁干燥单元的增压泵出现故障需要维护时，可在维护期间利用另一个基板清洁干燥单元的增压泵来继续工作，从而减少因增压泵出现故障而导致基板清洁干燥单元无法工作的问题，能够提高生产效率。

技术领域

本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种基板清洁干燥装置及其维护方法。

背景技术

平面显示器件具有机身薄、省电、无辐射等众多优点，得到了广泛的应用。现有的平面显示器件主要包括液晶显示器件(Liquid Crystal Display，LCD)及有机发光二极管显示器件(Organic Light Emitting Display，OLED)。

以液晶显示器为例，其通常由彩膜基板(Color Filter，CF)、薄膜晶体管基板(Thin Film Transistor，TFT)、夹于彩膜基板与薄膜晶体管基板之间的液晶(LiquidCrystal，LC)及密封胶框(Sealant)组成，其成型工艺一般包括：前段阵列(Array)制程(薄膜、黄光、蚀刻及剥膜)、中段成盒(Cell)制程(TFT基板与CF基板贴合)及后段模组组装制程(驱动IC与印刷电路板压合)。其中，前段Array制程主要是形成TFT基板，以便于控制液晶分子的运动；中段Cell制程主要是在TFT基板与CF基板之间添加液晶；后段模组组装制程主要是驱动IC压合与印刷电路板的整合，进而驱动液晶分子转动，显示图像。

在液晶显示器等平面显示器件在制作过程中，经常需要对基板进行清洁干燥，去除基板上杂质，保证制程的质量，目前的基板清洁干燥装置的工作过程通常为：首先由上料机构(LUL System)从基板载台(Cst)上获取基板，并将基板传送到基板清洁干燥装置的工作腔室内，由与所述工作腔室相连的增压泵(Booster Pump)通过真空(Vacuum)管道将工作腔室抽真空，并将抽得的空气过滤后通过压力(Pressure)管道再供应给出气头，出气头将气体吹到工作腔室内的基板上，吹去基板上的杂质，以完成对基板的清洁干燥，现有技术中，基板清洁干燥装置通常包括多个基板清洁干燥单元，每一个单元对应一台增压泵，且由于成本与空间的关系并没有配备有备用的增压泵，当增压泵发生故障需要进行修理或更换等维护工作时，该基板清洁干燥单元不得不停止工作，对正常的生产过程产生严重影响，引起产能下降，生产效率降低。

发明内容

本发明的目的在于提供一种基板清洁干燥装置，能够减少因增压泵故障导致的基板清洁干燥单元无法工作的问题，提升生产效率。

本发明的目的还在于提供一种基板清洁干燥装置的维护方法，能够减少因增压泵故障导致的基板清洁干燥单元无法工作的问题，提升生产效率。

为实现上述目的，本发明提供了一种基板清洁干燥装置，包括：至少一个基板清洁干燥单元组，每一个基板清洁干燥单元组包括两个基板清洁干燥单元；

每一个基板清洁干燥单元均包括：工作舱、增压泵、第一三通阀、以及第二三通阀；所述工作舱上设有工作舱出气口、以及工作舱进气口；所述增压泵上设有增压泵进气口、以及增压泵出气口；

每一个基板清洁干燥单元中，所述第一三通阀的进气口连接所述工作舱出气口，主出气口连接所述增压泵进气口，副出气口连接与该基板清洁干燥单元所在基板清洁干燥单元组中的另一个基板清洁干燥单元的第一三通阀的副出气口；所述第二三通阀的进气口连接所述增压泵出气口，主出气口连接所述工作舱进气口，副出气口连接与该基板清洁干燥单元所在基板清洁干燥单元组中的另一个基板清洁干燥单元的第二三通阀的副出气口。

所述第一三通阀的主出气口与增压泵进气口的连接通路上还设有第一压力传感器，所述第二三通阀的主出气口与工作舱进气口的连接通路上设有第二压力传感器。

所述第一三通阀、以及第二三通阀均为电磁控制阀。