[发明专利]基板清洁干燥装置及其维护方法有效
| 申请号： | 201611067009.X | 申请日： | 2016-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN106526915B | 公开（公告）日： | 2019-04-30 |
| 发明（设计）人： | 苏彦荧 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/13 | 分类号： | G02F1/13 |
| 代理公司： | 深圳市德力知识产权代理事务所 44265 | 代理人： | 林才桂 |
| 地址： | 430070 湖北省武汉市*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 基板清洁 干燥单元 干燥装置 增压泵 维护 三通阀连接 出气通路 进气通路 生产效率 | ||
1.一种基板清洁干燥装置，其特征在于，包括：至少一个基板清洁干燥单元组，每一个基板清洁干燥单元组包括两个基板清洁干燥单元(1)；
每一个基板清洁干燥单元(1)均包括：工作舱(11)、增压泵(12)、第一三通阀(13)以及第二三通阀(14)；所述工作舱(11)上设有工作舱出气口(111)以及工作舱进气口(112)；所述增压泵(12)上设有增压泵进气口(121)以及增压泵出气口(122)；
每一个基板清洁干燥单元(1)中，所述第一三通阀(13)的进气口连接所述工作舱出气口(111)，主出气口连接所述增压泵进气口(121)，副出气口连接与该基板清洁干燥单元(1)所在基板清洁干燥单元组中的另一个基板清洁干燥单元(1)的第一三通阀(13)的副出气口；所述第二三通阀(14)的进气口连接所述增压泵出气口(122)，主出气口连接所述工作舱进气口(112)，副出气口连接与该基板清洁干燥单元(1)所在基板清洁干燥单元组中的另一个基板清洁干燥单元(1)的第二三通阀(14)的副出气口。
2.如权利要求1所述的基板清洁干燥装置，其特征在于，所述第一三通阀(13)的主出气口与增压泵进气口(121)的连接通路上还设有第一压力传感器(15)，所述第二三通阀(14)的主出气口与工作舱进气口(112)的连接通路上设有第二压力传感器(16)；通过所述第一压力传感器(15)和第二压力传感器(16)感测到的气压大小监测是否有基板清洁干燥单元(1)的增压泵(12)出现故障。
3.如权利要求2所述的基板清洁干燥装置，其特征在于，所述第一三通阀(13)、以及第二三通阀(14)均为电磁控制阀。
4.如权利要求3所述的基板清洁干燥装置，其特征在于，还包括：控制主板，所述第一压力传感器(15)、第二压力传感器(16)、第一三通阀(13)以及第二三通阀(14)均与所述控制主板电性连接。
5.如权利要求1所述的基板清洁干燥装置，其特征在于，所述第一三通阀(13)的副出气口与另一个基板清洁干燥单元(1)的第一三通阀(13)的副出气口的连接通路上还设有第一常闭安全阀(17)；
所述第二三通阀(14)的副出气口与另一个基板清洁干燥单元(1)的第二三通阀(14)的副出气口的连接通路上还设有第二常闭安全阀(18)。
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