[发明专利]一种废液分类收集装置及其分类收集方法

说明书

本发明涉及一种废液分类收集装置及其分类收集方法，废液汇集盒与接液盒分别安装在废液桶底座上，在废液汇集盒与接液盒之间设有排废转换盒，排废转换盒通过安装在废液桶底座上的水平移动装置驱动水平往复移动；废液汇集盒的底部设有排废管A，排废转换盒的顶部开口，底部设有排废管B，接液盒内分为多个腔体，每个腔体底部均设有排废管；机台产生的不同废液流入废液汇集盒中，并通过排废管A流入到下方的排废转换盒中，排废转换盒通过水平移动装置的驱动在接液盒内的各腔体之间切换，将不同废液由接液盒中不同的腔体流入，并通过各腔体底部设置的排废管排出、实现分类收集。本发明具有结构简单，安装方便，成本低，易于实现等优点。

技术领域

本发明属于半导体处理系统中对废液进行分类处理领域，具体地说是一种废液分类收集装置及其分类收集方法。

背景技术

半导体处理是指为了在半导体晶片或者LED基板等被处理基板上按照规定图案形成半导体层、绝缘层和半导体层等，而对基板进行的各种处理。在这些处理中，光刻胶喷涂工艺是一种较常见的处理方式，主要针对的是有凹槽图形的基板。

在半导体晶片加工过程中，需要用匀胶机对晶片进行光刻胶的涂覆，以便晶片完成光刻工艺。为了提高产能，很多机台会在一个涂胶单元内配置两种或两种以上光刻胶涂覆功能。目前匀胶机产生的废液有两种收集方式，一种是直接排放到工厂内部的排废管路中，另一种是排放到设备内部的废液桶中；无论采用哪种方式进行排放，都会将光刻胶混合到一起，这样容易引起化学反应，产生有害物质。

发明内容

为了解决因不同光刻胶混合而引起化学反应产生有害物质的问题，本发明的目的在于提供一种废液分类收集装置及其分类收集方法。该分类收集装置可以对不同光刻胶进行分类收集，提高机台的安全性能。

本发明的目的是通过以下技术方案来实现的：

本发明的分类收集装置包括废液汇集盒、排废转换盒、接液盒，废液桶底座及水平移动装置，其中废液汇集盒与接液盒分别安装在废液桶底座上，接液盒位于废液汇集盒的下方，在所述废液汇集盒与接液盒之间设有排废转换盒，该排废转换盒通过安装在废液桶底座上的水平移动装置驱动水平往复移动；所述废液汇集盒的上部均布有多个废液管接口及废液气管接口，底部设有排废管A，所述排废转换盒的顶部开口，底部设有排废管B，所述接液盒内分为多个腔体，每个腔体底部均设有与排废管路相连通的排废管；机台产生的不同废液由废液管接口及废液气管接口流入废液汇集盒中，并通过所述排废管A流入到下方的排废转换盒中，所述排废转换盒通过水平移动装置的驱动在接液盒内的各腔体之间切换，将不同废液由接液盒中不同的腔体流入，并通过各所述腔体底部设置的排废管排出、实现分类收集。

其中：所述排废转换盒通过浮动接头与水平移动装置的输出端相连，该浮动接头的一端与所述排废转换盒连接，另一端与所述水平移动装置的输出端铰接；所述排废转换盒移动方向两侧的废液桶底座上均安装有滑轨，该排废转换盒移动方向的两侧均设有与两侧所述滑轨滑动连接的滑块；所述排废管A的最下端低于排废转换盒的最上端，即该排废管A插入排废转换盒中；

所述接液盒中设有至少一个隔板，通过各隔板将所述接液盒内部分为多个独立的腔体；所述各隔板的最上端均低于接液盒的最上端，所述排废管B的最下端低于接液盒的最上端、且高于各所述隔板的最上端；所述废液汇集盒、排废转换盒及接液盒的下端均为漏斗形；所述接液盒的两侧均通过支撑板固定在废液桶底座上；

本发明废液分类收集方法为：

所述排废转换盒通过水平移动装置驱动水平移动，在接液盒中不同的腔体上侧切换，将机台产生的不同种类的废液流入所述接液盒中的不同腔体内，由不同腔体底部排废管连接的排废管路排出，将不同种类的废液由不同的容器进行分类收集；